催化燃燒設備廢氣處理過程主要包括三部分吸附氣體過程、脫附氣體過程，催化燃燒過程。
1、吸附氣體流程利用活性炭的物理特性對VOC有機廢氣進行吸附，且蜂窩狀活性炭比表面積大、吸附能力強特性，將有機廢氣吸附到活性炭的微孔中，從而使氣體得以凈化，凈化后的氣體再通過風機排空。
2、脫附氣體流程當活性炭微孔吸附飽和時，將不能再進行吸附，此時利用催化床產生的高溫熱風對活性炭進行脫附，活性炭微孔中的有機物遇高溫后自動脫離活性炭，使活性炭再生。
3、脫附下來的有機物已被濃縮（濃度較原來提高幾十倍）并被送入催化燃燒室進行催化燃燒，催化燃燒設備在催化劑上在250～300℃進行催化氧化，使其轉化為無害的CO2和H2O排出，當有機廢氣濃度達到2000PPm以上時，有機廢氣在催化床可維持自燃，不用另外再行加熱，燃燒后的尾氣一部份直接排到大氣，大部份熱氣流被再次循環送往吸附床，用于對活性炭的脫附再生。這樣既能滿足燃燒和脫附所需熱能，又能達到節能的目的，再生后的活性炭可用于下次吸附。
該設備可采用雙氣路連續工作，工作量較大時設兩個吸附床交替切換使用，一個催化燃燒室，先將有機廢氣經其中一個活性炭吸附床對氣流中的廢氣進行吸附，當活性炭快達到飽和時吸附床兩端的密閉閥門同時關閉，即停止吸附工作，同時另一臺吸附床自動打開開始接替吸附工作。如此以來兩臺吸附床切換運行可實現大工作量的連續工作，有時為了增加催化燃燒設備的使用壽命，可以在催化燃燒設備之前加設一臺預處理設備，例如噴淋塔、干式過濾器或者除塵器，這些設備可以過濾廢氣中的顆粒物及粘性成分。
生產催化燃燒設備的目的是 保護環境。在工業生產中，排放大量含有苯，醇，酮等的有機廢氣。它危及工人的健康，污染環境。催化燃燒設備作為控制有機廢氣污染的手段，在我國取得了可觀的成果。然而，在催化燃燒裝置的設計，加工和應用過程中，仍存在一些潛在的不安全因素和事故隱患，并且裝置中會發生嚴重的火災和爆炸。因此，國家應統一制定濃度控制標準或設計規范，以通過催化燃燒處理有機廢氣。除上述因素外，從技術角 度來看，還需要注意以下幾點：
1、一般來說，在相同的爆炸下限濃度下，有機廢氣中大部分有機成分的燃燒熱值可視為相同值。如果每爆炸下限的熱值，即熱值用于加熱廢氣本身，則可以燃燒爆炸下限低1%的廢氣。廢氣可以加熱15.3℃。當廢氣濃度達到25%的爆炸下限時，廢氣本身可以被加熱。使用催化燃燒設備時應注意安全。按規定操作，以免發生意外。
2、有機氣體的爆炸下限與溫度有關。通常，溫度越高，反應速度越快，爆炸極限范圍越大。當進入催化燃燒裝置的有機廢氣濃度過高時，催化燃燒裝置的溫度會升高，而且由于以前的國產催化燃燒裝置沒有設置廢氣濃度檢測和控制設備，爆炸下限較低溫度升高后的有機廢氣將小于手冊中給出的值，加上設備中的有機廢物。氣體成分混合的不均勻性可能超過局部區域高溫下廢氣的實際爆炸下限，這可能導致爆炸風險。
催化燃燒設備的目的是 保護環境，處理工業廢氣污染。光氧凈化設備在工業生產中，有大量的含有苯、醇、酮、有機廢氣。它危害工人健康，污染環境。催化燃燒廢氣處理設備作為控制有機廢氣污染的一種手段，在我國取得了相當大的成效。然而，在催化燃燒廢氣處理設備的設計、加工和應用過程中，仍然存在一些潛在的不安全因素，事故隱患，嚴重時會發生火災和爆炸。因此，應在治理有機廢氣催化燃燒的濃度控制標準或設計規范。除了上述因素之外，從技術角 度來看，以下不安全因素也值得注意：
1、有機氣體爆炸下限與溫度有關。通常，溫度越高，反應速度越快，爆炸極限范圍越大。當進入有機催化燃燒廢氣濃度太大，催化燃燒設備的溫度將上升，國內催化燃燒設備和前沒有設置廢氣濃度檢測和控制設備，有機廢氣的溫度上升后爆炸下限值會比手動給值小，加上有機廢氣混合的不均勻性，當地的情況下可能是 在高溫廢氣真正的爆炸下限，有爆炸的危險。
2、一般來說，在相同的爆炸下限濃度下，有機廢氣中大部分有機組分的燃燒熱值可看作相同的值。如果熱值是 下爆炸極限的，即熱值用于加熱排氣本身，則下爆炸極限的1%用于排氣燃燒。當廢氣濃度達到25%的下爆炸極限時，可提高廢氣本身的溫度。
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