據中國電子專用設備工業協會統計的數據，2009年我國電子專用設備產業銷售收入僅占我國電子信息產業總銷售收入的2%，這和我國為電子信息產品生產大國是不相稱的，特別是集成電路設備、平板顯示器設備、發光二極管設備和表面貼裝設備中的關鍵設備大部分仍然需要依賴進口。因此，國內設備廠商應該利用自己在半導體設備領域積累的經驗，積極涉足目前新興產業，在光伏、LED、LCD等領域，緊跟行業形勢，積極開發自動化、節能、高效的設備，提高產品技術含量，進一步滿足市場需求。

    我國光伏設備企業已基本具備太陽能電池制造整線裝備能力。而在大規模生產中，產品穩定性非常重要，真正要達到較高的光電轉換率，對于硅材料質量以及工藝技術水平要求都很高，而設備的可靠性、自動化程度又直接影響企業的競爭力，因此今后光伏設備將以提高電池轉換效率、降低生產成本、節能環保為發展目標。設備企業要加強新工藝、新技術的研制開發，不斷提升設備的適應性，開展技術創新，提高設備工藝物化，從設備和工藝兩方面來提高轉換效率、降低光伏成本。

    在LED生產過程中需要很多設備，從藍寶石襯底加工用的單晶爐、多線切割、研磨拋光等設備，到MOCVD(金屬有機化合物化學氣相淀積)、退火爐等設備，再到與IC芯片工藝相類似的設備，如光刻機、刻蝕機、清洗機、蒸發鍍膜等，最后到封裝用的固晶機、金絲/鋁絲球焊機、分選機等等，種類繁多。其中，MOCVD、等離子刻蝕機等是技術含量很高的設備。在所有的LED設備中，沒有哪一種設備像MOCVD一樣，在整個LED生產設備投資中占如此大的比重。國產LED設備廠商必須從MOCVD設備開始取得突破，才能逐步向前道和后道工藝設備不斷擴展，最終實現整個產業鏈的全部設備國產化。MOCVD設備的技術門檻很高，需要克服很多困難，投入大量的人力、物力、財力，整合各種優勢資源。此外，國產設備要想在LED產業大發展過程中有所作為，一定要在穩定性和一致性上做好文章。

    政府應積極倡導建立技術創新基金和技術創新風險投資基金，促進和推動電子專用設備企業技術創新快速發展。國家應進一步引導整合行業，加大投入，特別是把解決當前急需與國際化結合起來，把解決高中低端技術結合起來布局。在國家的扶持下，企業間應加快建立專用設備重點實驗室，走設備與工藝研究、開發相結合的道路。

    中國電科第四十八研究所所長唐景庭

    國產設備更需支持應用政策

    對電子專用設備行業來說，“十二五”期間應該重點在太陽能光伏設備、LED設備和集成電路設備領域實現突破。從工作思路上看，國家在政策上要給予設備行業實實在在的支持。在政策支持方面，韓國等國家和地區都有很好的可借鑒的經驗。對國內的設備制造企業來說，很多企業具備了一定發展基礎和資金實力，已經跨過單純依靠資金支持的、少量的原始積累的階段，資金的支持已經變得不那么重要，設備研發資金的投入將轉向以企業自主投入為主。企業現在最缺的是支持應用的政策。

    由于設備與工藝密不可分，而且不是所有企業都有能力建設大生產線，因此要把首臺使用的政策落到實處，把資金支持和首臺使用政策結合起來。

    對于48所而言，我們一下步將圍繞現有光伏設備提高自動化程度，建立智能的而不是粗放的太陽能電池生產線；今年將投入1.6億元集中把MOCVD設備開發出來并延伸出自己的LED產業鏈和產業集群；IC設備領域要圍繞離子注入機進一步提高水平，3年之內將投建自己的集成電路生產線。