一.除膠渣的目的:由于鉆孔后孔內殘留下來的環氧鉆污不利于化學沉銅的沉積,而且環氧鉆污并非牢固地粘附在孔壁上,這就有可能使孔內鍍層剝離、脫落。為了克服這一致命的缺陷,我們必須有除鉆污(即除膠渣)的工藝。除膠渣能徹底地清除鉆污,而且能使孔壁產生細小凹凸不平的小坑,提高了活化劑的吸附量,沉銅時能牢固地沉積在孔壁上。
二.除膠渣工藝:
膨松→兩次水洗→除膠渣→回收→兩次水洗→中和→兩次水洗→PTH
⑴ 膨松:目的是為了溶脹和軟化環氧鉆污,是除膠渣前的準備。
⑵ 水洗:沖洗殘余藥水,防止藥水污染。
⑶ 除膠渣:采用強氧化劑(高錳酸鉀),溶脹氧化孔壁環氧樹脂,可徹底清除內層銅環上的樹脂和孔壁鉆污,是沉銅前的充分準備。
⑷ 回收:回收由板中殘余的除渣藥水,可作除渣缸的藥液補充,再次利用。
⑸ 中和:是對高錳酸鉀和二氧化錳還原和清除處理。由于高錳酸鉀是強氧化劑,對后工序的調整劑和添加劑有“毒化”作用,它能氧化、分解各種添加劑,且生成不溶性的二氧化錳,嚴重污染藥水,影響孔壁鍍層質量,因此必須清除它。
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