薄膜太陽能電池解決方案巨頭之一的應(yīng)用材料用Sunfab生產(chǎn)線來主戰(zhàn)薄膜太陽能光伏市場，Sunfab最誘人之處莫過于改寫了薄膜太陽能電池玻璃基板的尺寸了，將尺寸增大到了2.2米X2.6米，總面積達(dá)到了5.7平方米，面積是普通薄膜太陽能電池的4倍，如此大的面積的太陽能電池模組不僅可以節(jié)約生產(chǎn)成本，在系統(tǒng)安裝時(shí)能很大程度上減少安裝材料和安裝的人力。

    在相同效率的條件下，大面板顯然在成本上占有優(yōu)勢，但是隨著尺寸的增大，厚度、結(jié)晶分餾和摻雜物濃度等薄膜特性的均勻性變化都會在制造過程中造成設(shè)備性能下降和電池的可靠性問題。根據(jù)應(yīng)用材料發(fā)表的數(shù)據(jù)，其轉(zhuǎn)換效率均勻性優(yōu)于+/-4rel%。

    作為全球首家提供薄膜太陽能模塊Turn-Key服務(wù)的廠商Oerlikon的薄膜太陽能電池解決方案提供了中試線的選擇，其玻璃基板與量產(chǎn)基板尺寸相同。中試線與量產(chǎn)線不同之處在于反應(yīng)腔室的數(shù)量，兩者分別為1：20，在中試線上研發(fā)成功的工藝可以直接移植到量產(chǎn)生產(chǎn)線上，這使電池生產(chǎn)廠商在投入大規(guī)模量產(chǎn)之前可以對工藝進(jìn)行自主改善，進(jìn)而提高產(chǎn)能與轉(zhuǎn)化效率。

    Oerlikon于2007年9月推出的非晶微晶的工藝解決方案，最早由Oerlikon現(xiàn)任CTO Johannes Meier于1994年在IMT提出，這種結(jié)構(gòu)能夠拓展吸收的光譜范圍，從而大大的增加對光的吸收能力。采用非晶微晶的薄膜太陽能電池穩(wěn)定后的轉(zhuǎn)換效率可以達(dá)到9%左右，在量產(chǎn)之后，通過加工技術(shù)的提升，還可以進(jìn)一步提高轉(zhuǎn)換效率。

    據(jù)孫海燕博士介紹，非晶工藝和非晶微晶工藝的主要區(qū)別在于PECVD工藝，后者在鍍膜的過程中需要40MH的超高頻，以獲得高沉積速率、高均勻性以及低損傷。所以O(shè)erlikon早在20年前開發(fā)薄膜太陽技術(shù)及設(shè)備時(shí)，將其開發(fā)重點(diǎn)集中在PECVD設(shè)備超高頻電源與反應(yīng)器裝置的開發(fā)。超高頻電源應(yīng)用主要的目的在于使薄膜淀積又快又好，即在薄膜的淀積過程中，使產(chǎn)生的等離子既不能破壞膜的結(jié)構(gòu)，同時(shí)薄膜的淀積速度要快。而用于薄膜淀積的Oerlikon的反應(yīng)器是一個(gè)高溫等溫裝置，反應(yīng)器內(nèi)溫度的控制非常重要，因?yàn)榉蔷Ч枋情L程無序短程有序硅的一種非穩(wěn)態(tài)，在等溫下形成致密的薄膜的過程相當(dāng)于在接近于穩(wěn)定狀態(tài)下形成的亞穩(wěn)態(tài)，所制備的電池結(jié)構(gòu)相對穩(wěn)定，初始衰減相對少。

    雖然薄膜電池將主導(dǎo)未來光伏市場的呼聲不斷，但要在未來的5-10年取代晶體硅太陽能電池成為光伏市場的主流可能需要相當(dāng)?shù)墓ぷ骱团Α３Ｖ萏旌瞎饽苁紫\(yùn)營官鄒西原認(rèn)為，由于用于晶體硅電池制造的硅原料取得相對容易，晶體硅電池量產(chǎn)技術(shù)成熟和較高的轉(zhuǎn)換效率，而在可預(yù)見的未來幾年，晶體硅太陽能電池仍然會是市場的主流。應(yīng)用材料（中國）有限公司太陽能事業(yè)部總經(jīng)理王瑞萍認(rèn)為，晶體硅和薄膜這兩種技術(shù)在很長一段時(shí)間內(nèi)會齊頭并進(jìn)，相輔相成，也許會永遠(yuǎn)并存。