1. CCD相機(jī):德國(guó)彩色CCD1280*1024像素
2. 鏡頭:4X鏡頭,最新線寬0.5mil
3. 光源:光源自動(dòng)調(diào)光功能,也可手動(dòng)調(diào)光
4. 臺(tái)面尺寸:1200mm*750mm
5. 線寬測(cè)量范:最小12.7um--最大1500um
6. 測(cè)量尋邊方式:自動(dòng)尋邊功能
7. 線寬測(cè)量精度:±1μm
8. 測(cè)量窗口視野范圍:可測(cè)量60mil以內(nèi)的線路
9. 報(bào)告生成模式:可根據(jù)客戶廠內(nèi)報(bào)表格式做定制的對(duì)應(yīng)測(cè)量數(shù)據(jù)匯出等