機臺特點:
原裝日本尼康高級LU物鏡和顯微技術(shù)，包括：明場，暗場，DIC襯度，偏光和落射熒光。最多可以在物鏡轉(zhuǎn)換器上安裝五個物鏡。特別適用于在高倍率物鏡時對產(chǎn)品觀察測量。
型號及產(chǎn)品參數(shù)
1290（測量范圍：X軸1200mm,Y軸900mm）
1000（測量范圍：X軸1000mm,Y軸1000mm）
9060（測量范圍：X軸900mm,Y軸600mm）
5040（測量范圍：X軸500mm,Y軸400mm）
4030（測量范圍：X軸400mm,Y軸300mm）
3020（測量范圍：X軸300mm,Y軸200mm）
2010（測量范圍：X軸200mm,Y軸100mm）
1010（測量范圍：X軸100mm,Y軸100mm）
Z軸測量范圍：150mm，
顯示器分辨率：0.001um\0.0005um\0.0001um可選配
應(yīng)用于：半導(dǎo)體封裝，焊接貼片，環(huán)路高度，F(xiàn)PD面板（LCM），MEMS,晶片級CPS,硬盤滑行磁頭。
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