不久，一種更“給力”并實惠的能源將走入尋常百姓家。近日首臺代表著國際尖端技術水平的薄膜太陽能電池關鍵生產設備――等離子體增強型化學氣相沉積設備（PECVD）在位于上海張江的理想能源設備公司正式下線。這臺設備的研制成功和下線，大幅降低硅薄膜電池生產成本，打破了高端薄膜太陽能電池設備市場一直被國外廠商壟斷的局面，填補了光伏電池高端設備國產化的空白。中共中央政治局委員、上海市委書記俞正聲致信祝賀。

 　   據介紹，一片約1.5平方米的普通平板玻璃完成導電層覆膜后，進入PECVD反應腔，完成化學氣象材料疊層結構的覆膜，厚度增加了兩個微米，即成為轉化率可達10％的薄膜太陽能電池。代表第二代光伏技術的薄膜太陽能電池是在玻璃、金屬或塑料等基板上沉積很薄的光電材料形成的一種太陽能電池。它在弱光條件下仍可發電，既可應用于大規模光伏電站，也可制成柔性及半透明電池，實現真正的光伏建筑一體化應用。這種電池可大幅降低生產過程的能耗，具備顯著降低原料和制造成本的潛力，近年來逐漸成為光伏產業的熱點。

  　  由該公司研制的PECVD，采用了先進的超高頻射頻技術、真空和溫度控制技術，以及自主創新的自動傳輸技術。其中采用非晶微晶雙結硅薄膜太陽能電池結構，首次實現獨立多腔多片的反應腔系統，大大提高了產能。該系統能夠同時處理3個反應腔中30片的玻璃覆膜過程，并且各腔又具有單腔獨立運作的靈活性，可以分別沉積非晶微晶薄膜，屬世界領先技術水平。產品性能可與國際一流設備媲美，售價僅為進口設備的一半。