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伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 用于電磁閥檢漏

發(fā)布時(shí)間: 來源:伯東貿(mào)易(深圳)有限公司

精密零件供應(yīng)商生產(chǎn)的電磁閥閥芯, 經(jīng)過鐳射焊接后, 懷疑焊縫存在微小的泄漏, 單個(gè)閥芯最終漏率需要低于 5-10 mbar l/s,經(jīng)過伯東推薦 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 對(duì)其....

精密零件供應(yīng)商生產(chǎn)的電磁閥芯, 經(jīng)過鐳射焊接后, 懷疑焊縫存在微小的泄漏, 單個(gè)閥芯最終漏率需要低于 5-10 mbar l/s,經(jīng)過伯東推薦 Pfeiffer  氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340  對(duì)其生產(chǎn)的電磁閥閥芯檢漏.


氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 技術(shù)參數(shù):

型號(hào)

ASM340

ASM340 D

ASM340 I

對(duì)氦氣的最小檢檢漏率

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

檢測(cè)模式

真空模式和吸槍模式

真空模式和吸槍模式

真空模式和吸槍模式

檢測(cè)氣體

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

啟動(dòng)時(shí)間 min

3

3

3

對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

2.5

2.5

進(jìn)氣口最大壓力 hPa

25

25

5

前級(jí)抽速 m3/h

油泵 15

隔膜泵 3.4

不含前級(jí)泵

重量 kg

56

45

32

 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 優(yōu)點(diǎn):

1. 前級(jí)泵配備旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高達(dá)15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦氣抽速 2.5 l/s

3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對(duì)氦氣的最小檢檢漏率:

   真空模式:5E-13 Pa m3/s

   吸槍模式:5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)最小漏率

4. 移動(dòng)式操作面板(有線、無線)

5. 集成SD卡, 方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動(dòng), 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險(xiǎn)性

7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等

8. 檢測(cè)時(shí)間短

 

待檢漏產(chǎn)品及檢漏示意圖:

氦質(zhì)譜檢漏儀電磁閥檢漏


氦質(zhì)譜檢漏儀電磁閥檢漏

由于半導(dǎo)體工業(yè)上用的氣體如矽烷 SiH4, 氨氣 NH3 等等都是有毒或有腐蝕性的氣體, 所以對(duì)所用的閥及相關(guān)部件, 漏率要求非常嚴(yán)格.

 

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺(tái)灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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