作為半導體制造的“血液”，各類電子氣會大量的被應用到半導體及相關行業中，這些電子氣大多具有有毒、易燃、腐蝕等特性，這就要求從氣源到用氣點的整個供氣管路中的設備必須完全可靠，針對氣體的腐蝕性，如果想保證氣體設備的高性能的同時延長使用壽命，這里有幾種選項供您參考。
許多因素都會造成氣體設備的腐蝕，如環境因素（潮濕或者含鹽的海洋環境）造成的外部腐蝕，或者腐蝕性氣體和設備反應造成的內部腐蝕。后一種情況不僅會造成人身的健康和安全風險，同時也會影響氣體的純度，產生顆粒物對后端的工藝造成不可預知的風險。所以，氣體設備的正確防護是應對此類工況的最基本措施。ROTAREX與氣體公司合作近百年，積累了豐富的經驗及廣泛的專業知識，針對您的各種特殊應用工況，我們都會幫您找到合適的解決方案。
首要且最重要的事是選擇適合您的應用工況，并且與氣體兼容性最好的材料：黃銅，不銹鋼，鋁或者各種合金（哈氏合金，蒙乃爾合金，鋁硅銅合金等），ROTAREX對各種材料的耐腐蝕性有較深的了解，另外，針對材料的選型及兼容性，我們還擁有一個數據庫，此數據庫涵蓋了本體材質和內部零配件與超過千種不同的介質的兼容性等信息。
并延長其使用壽命?
在選擇了材料之后，您可能還需要其它的防腐蝕措施，如：表面涂層，材質處理或者表面拋光等，如果氣體設備應用于特殊的，非常規的工況，這些防腐蝕措施尤為重要。對于氣體設備的內/外部的防腐蝕措施，ROTAREX可以提供您合適的解決方案。
根據本體材質的不同，選擇合適的處理來進一步保護氣體設備免受外部腐蝕，如：表面鍍鎳，鉻，PTFE，或者陽極氧化處理及簡單的噴涂。如果氣體設備同時也遭受內部的腐蝕，相對來說會更復雜。除了本體材料以外，也要分析與氣體接觸的內部零配件，以提供更合適的腐蝕防護。表面處理如減少零配件間的磨損來提高氣體兼容性，而鈍化處理及電解拋光可通過提高表面的鉻鐵比來提高設備的耐腐蝕性。
有時，還需要在零部件內部進行涂層處理，可以使用SiO2涂層或者鍍銀，也或者是采用鍍金或鍍鉑工藝， 在某些情況下，ROTAREX會使用化學氣相沉積工藝（CVD）來將涂層鍍到設備表面，這種工藝專為不銹鋼材質設計，但有時候也會用在合金材質上，用以形成一層全覆蓋、耐用的涂層來耐受極端溫度和壓力。除了傳統的表面涂層之外，在鋼瓶閥及氣體設備的表面，ROTAREX同時也能提供特殊的硅涂層，此涂層是惰性及非反應性涂層，如果您需要對氣體進行持續的采樣和分析，這種涂層是理想之選。
ROTAREX 解決方案
無論何種工況，ROTAREX都可以為您找到最適合的解決方案，確保最優化的設備性能安全性以及使用壽命。
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