廢氣處理設備吸附設備在用多孔性固體物質處理流體混合物時，流體中的某一組分或某些組分可被吸表面并濃集其上，此現象稱為吸附。吸附處理廢氣時，吸附的對象是氣態污染物，氣固吸附。被吸附的氣體組分稱為吸附質，多孔固體物質稱為吸附劑。
固體表面吸附了吸附質后，一部被吸附的吸附質可從吸附劑表面脫離，此現附。而當吸附進行一段時間后，由于表面吸附質的濃集，使其吸附能力明顯下降而吸附凈化的要求，此時需要采用措施使吸附劑上已吸附的吸附質脫附，以協的吸附能力，這個過程稱為吸附劑的。因此在實際吸附工程中，正是利用吸附循環過程，達到除去廢氣中污染物質并回收廢氣中有用組分。
目前，對于廢氣處理設備的處理方法有很多，具體包括變壓吸附法、熱破壞法、凈化技術以及氧化處理等。
1、變壓吸附分離與凈化技術
氣體組分能夠在固體材料上吸附，變壓吸附分離與凈化技術正是根據這一特性，使用專業的廢氣分離與凈化裝置，氣體在裝置中，其壓力就會發生變化，而壓力的變化正是廢氣處理的主要動力。該技術采用物理法實現對VOC廢氣的處理與凈化，其主要的材料為沸石分子篩。該材料具有吸附量大以及吸附選擇兩個方面的優勢。在壓力下，沸石分子篩能夠將廢氣中的有機成分有效的吸附，同時將剩余的氣體輸送到下一個環節中。
沸石分子篩在吸附有機分子后，通過工序進行轉化，保證了吸附劑能力，可以重新投入到使用中。這個過程循環，就能夠實現對VOC廢氣的凈化效果。
隨著我國工業技術的發展，該項技術逐漸應用其中，在氣體分離方面具有極強的效果。同時，該項技術花費的成本較低、能源消耗量少、操作簡單，能夠減少對環境的污染，具有廣闊的市場前景。
2、熱破壞法
熱破壞發主要是對VOC廢氣進行直接或輔助燃燒，或者是利用催化劑，保證廢氣化學反應快速進行，其目的在于降低廢氣中有機物的含量，降低廢氣的危害程度。
在濃度較低的VOC廢氣中，熱破壞法具有良好的效果，一般來說，將熱破壞法分為直接燃燒以及催化燃燒兩種方式。采用直接燃燒的方式，能夠達到99%的處理率；利用催化劑加速化學反應的方式，能夠減少費時，提高處理的效率。目前一般使用金屬或金屬鹽作為催化劑，相關方面的技術也相對成熟，但是這些金屬成本過高。我國近年來一直在研究利用非貴金屬作為催化劑的工作，已經取得了良好的進展。
將催化劑作為載體，有效的催化處理VOC廢氣，能夠提升催化活性以及穩定性。
3、生物處理法
基于處理的原理來說，所謂的生物處理法，光氧凈化器主要是利用微生物生理特點與過程，將VOC廢氣中的有害物質有效的轉化為無機物，轉化成的無機物主要包括水、二氧化碳等。相對于其他處理方式來說，生物處理法是一種無害的方式。
一套完整的生物處理法包括三個步驟：VOC廢氣中的污染物溶于水中，迅速的得到溶解；當液態濃度較低時，液膜中的有機物會逐漸的進行擴散，終擴散到生物膜中，從而將生物膜中吸附的微生物吸收；VOC廢氣中的有機廢氣被微生物吸收后，通過微生物自身的生理過程，就會逐漸被降解與轉化，轉化為簡單的無機物。
4、吸附法
對于高通量、低濃度的VOC廢氣來說，一般采用吸附法處理。這種處理方式在我國工業生產中已經相對成熟，處理效率高，同時能源消耗相對較少，能夠將廢氣中的有害氣體　　 凈化。經過多年來的實踐證明，吸附法在處理VOC廢氣中具有顯著的效果，值得大力推廣。
然而，采用吸附法處理VOC廢氣也存在缺陷。這種處理方式需要大體積的設備，同時處理的工藝相對繁雜；其次，如果廢氣中存在大量的雜質，工作人員在處理中可能會存在中毒的危險。因此，在采用這種處理方式時，還需要選擇好的吸附劑，加強對活性炭的利用，而細孔結構的活性炭效果，具有強的吸附能力。值得注意的是，如果將活性炭用臭氧或氧化鐵進行處理，其吸附能力就會增強，在處理VOC廢氣過程中處理效果也 佳。
5、冷凝回收法
基于不同的溫度條件，有機物具有不同的飽和度。利用這一特性，采用冷凝回收的方式，通過改變(提升、降低)系統的壓力，將VOC廢氣中的有機物質通過冷凝的方式提煉出來，這樣就能夠實現對VOC廢氣的凈化處理。采用這種凈化處理的方式，能夠提高凈化的純度，但是其操作難度相對較大，在常溫環境中一般不能夠利用冷卻水實現，還需要利用冷凝水降溫過程，無疑會增加工作的成本。相對于其他的處理方式來說，冷凝回收法主要是對溫度較低、濃度較大的VOC廢氣的處理。
6、液體吸收法
所謂的液體吸收法，主要是將VOC廢氣與吸收劑充分接觸，從而使吸收劑將有機廢氣中的有害分子吸收，起到凈化有機廢氣的作用。采用這種處理方式，其實質上是一種物理化學反應，吸收劑吸收有機廢氣中的有害分子后，利用解析法，除去吸附在吸收劑中的有害分子，還能夠實現對吸收劑的重復利用。
如果從作用原理上來說，可以將液體吸收法氛圍物理方法以及化學方法兩類。物理方法主要是利用物質相溶性原理，將水作為吸收劑，有效的吸收VOC廢氣中的有害物質。但是，在VOC廢氣中有害物質里，還有很多不溶于水的物質，例如苯，還需要利用化學方式進行處理，采用化學溶劑，將有機廢氣和化學溶劑充分接觸，產生化學反應，終去除其中的有害物質。
7、等離子體法
這種方式的原理在于，利用NS級的高壓脈沖點暈進行放電，在常溫常壓環境中，能夠獲得非平衡等離子體，等離子體包括氧離子、氫氧離子、電子等，能夠有效的氧化與降解VOC廢氣中的有害分子，將其轉化為無害物質，實現對VOC廢氣的處理與凈化。
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