臭氧滅菌為溶菌級方法，殺菌徹底，無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒桿菌毒素。另外，O3對霉菌都有殺滅作用。O3由于穩定性差，很快會自行分解為氧氣或單個氧原子，而單個氧原子能自行結合成氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以，O3是一種無污染的消毒劑。O3為氣體，能迅速彌漫到整個滅菌空間，滅菌無死角。而傳統的滅菌消毒方法，無論是紫外線，還是化學熏蒸法，都有不徹底、有死角、工作量大、有殘留污染或有異味等缺點，并有可能損害人體健康。如用紫外線消毒，在光線照射不到的地方沒有效果，有衰退、穿透力弱、使用壽命不長等缺點。化學熏蒸法也存在不足之處，如對抗藥性很強的細菌和病毒，則殺菌效果不明顯。

活性氧(臭氧)滅菌消毒作用體現在它的強氧化性上，是全球公認的綠色廣譜高效的消毒滅菌劑。廣泛用于飲用水消毒，醫療衛生機構空氣消毒，臭氧會在30-40分鐘后自動還原成氧氣，沒有化學殘留二次污染。所應用的領域有消毒柜、果蔬解毒機，婦科治療儀、食品加工、飲用水灌裝消毒設備等。