光氧催化主要利用的是比較先進的光觸媒技術，它主要是利用廢氣分子的裂解和分化，廢氣在超強的紫外線光束作用下，分子會發生形態的改變，由原來的大分子化合物降解成低分子的化合物，可以將原有廢氣當中的原子和電離子重新的進行組合，進而達到凈化處理廢氣的效果和目的。UV光氧催化設備主要是用的高能電子電離、裂解有害氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。兩種設備均可進行廢氣的凈化處理，但光氧催化器主要用于處理臭氣異味、有毒有害氣體的處理。低溫等離子凈化器處理油漆噴涂煙氣的效果比較好。
UV光氧催化設備簡單來說就是運用產生的高能UV紫外線和臭氧對廢氣進行氧化還原反應，使其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，以此達到凈化除臭的目的。
其凈化步驟分為三步：
內部安裝的特制高能高臭氧的UV紫外線燈管會發出紫外線照射廢氣，以分裂二甲二硫、苯乙烯、苯、二硫化碳此類工業廢氣的分子鏈結構，使這些有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在散發出的高能紫外線的照射下，降解為低分子化合物，如CO2、H2O等。
二步高能的UV紫外線光束可以把空氣中存在的氧分子進行分 解，從而產生游離氧，游離氧由于自身攜帶不平衡的正負電子，會與氧分子進行結合，從而產生臭氧。臭氧對有機物的氧化作用極強，所以臭氧對工業廢氣中的異味清除有著非常明顯的效果。
第三步UV光氧設備可以分 解工業廢氣中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，達到凈化及殺滅細菌的目的。
經過以上步驟UV光氧設備便可以取得相當理想的凈化除臭效果。
低溫等離子光氧一體機采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，用于氟利昂類、隆類物質的分 解處理，后延伸至工業惡臭、異味、有毒有害氣體處理。
該技術節能、環保，應用范圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分 解效果。
等離子體工業廢氣處理技術已研制出標準化廢氣治理設備，利用所產生的高能電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分 解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而消除各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化，保護人類生存環境。
由于其對污染物分子的分 解且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理開辟了一條新的思路。
UV光氧廢氣凈化設備主要用作于食品、醫藥、化工、污水、垃圾、塑膠、噴涂、造紙、輪胎等生產環節揮發或滲漏出有害廢氣的凈化及臭味的消除。光化學及光催化氧化法是目前研究較多的一項氧化技術。所謂光催化反應，就是在光的作用下進行的化學反應。光化學反應需要分子吸收特定波長的電磁輻射，受激產生分子激發態，然后會發生化學反應生成新的物質，或者變成引發熱反應的中間化學產物。光化學反應的活化能來源于光子的能量，在太陽能的利用中光電轉化以及光化學轉化一直是十分活躍的研究領域。
光催化氧化技術利用光激發氧化將O2、H2O2等氧化劑與光輻射相結合。所用光主要為紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工藝，可以用于處理污水中CHCl3、CCl4、多氯聯苯等難降解物質。另外，在有紫外光的Fenton體系中，紫外光與鐵離子之間存在著協同效應，使H2O2分 解產生羥基自由基的速率大大加快，促進有機物的氧化去除。
大自然具有十分強大的自我修復功能， 例如排放在大氣中的廢氣物質，經過一段時間廢氣物質會慢慢被分 解掉，其中主要的過程是發生了光化學反應。廢氣物質通過吸收光子或其他粒子的能量，使得化學鍵斷裂，形成游離態的原子，再經過一系列的氧化還原等反應，生成 H 2 O 和 CO 2 等簡單物質。
經過長期研究發現，當化學物質通過吸收能量(如熱能、光子能量等) ，可以使自身的化學性質變得活躍甚至被裂解。當吸收的能量大于化學鍵鍵能，即可使得化學鍵斷裂，形成游離的帶有能量的原子或基團。在波長范圍154nm-184.9nm(1200KJ/mol-600KJ/mol)高能紫外線的作用下，一方面空氣中的氧被裂解，然后組合產生臭氧；另一方面將污染物化學鍵斷裂，使之形成游離態的原子或基團；同時產生的臭氧參與到反應過程中，使廢氣終被裂解，氧化成簡單的穩定的化合物，如CO2、H2O、N2等。
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