低溫等離子凈化器采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，最初用于氟利昂類、哈隆類物質的分 解處理，后延伸至工業惡臭、異味、有毒有害氣體處理。該技術節能、環保，應用范圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分 解效果。
等離子體工業廢氣處理技術已研制出標準化廢氣治理設備，利用所產生的高能電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分 解，氧 化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而消除各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化、無毒化，保護人類生存環境。由于其對污染物分子的高效分 解且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理開辟了一條新的思路。
1、等離子體是一種聚集態物質，它有別于常識中的“固”、“液”、“氣”三態物質，是物質的第四態，其所擁有的高能電子同空氣中的分子碰撞時會發生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧，即臭氧分 解而產生的原子氧。活性自由基可以有效地破壞各種細菌中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態氧能迅速將多種高分子異味氣體分 解或還原為低分子無害物質；另外，借助等離子體中的離子與物體的凝并作用，可以對小至亞微米級的細微顆粒物進行有效的收集。
2、等離子空氣凈化器在工作時會產生臭氧，由臭氧分 解出生態氧，而臭氧是一種公認的高效空氣殺菌劑，達到一定濃度時對人體也有害，不僅有臭味，也可能致癌。我國《室內空氣質量標準》規定臭氧的濃度必須小于0.16mg／m3。由于臭氧的不穩定性，存在時間很短，因此可以做到既能持續殺死細菌，又使空氣中的臭氧濃度保持在安全水平對人體無害。
低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。等離子光氧凈化設備降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分 解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。）
等離子體反應區富含極高的物質，如高能電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應，使污染物質在極短的時間內發生分 解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，等離子體技術放電密度是電暈放電的1500倍，這就是傳統低溫等離子體技術治理工業廢氣99%以失敗而告終的原因。
與目前國內常用的異味氣體治理方法相比較，等離子體工業廢氣處理技術具有以下特點：
低溫等離子體技術應用于惡臭氣體治理，具有處理效果好，運行費用低廉、無二次污染、運行穩定、操作管理簡便、即開即用等優點。
等離子光氧一體機的性能特點：
1、“低溫等離子體”設備屬高新科技產品，自動化程度高，工藝簡潔，操作簡單，方便.無需專人看管，遇故障自動停機警報。
2、節能：運行費用低廉是“低溫等離子體”專利核心技術之一，處理5000m3/h臭氣，耗電量僅1000W。
3、適應范圍廣：在高溫350℃，低溫-20℃的環境內，凈化區均可運轉，特別是在潮濕，甚至空氣濕度飽和的環境下仍可正常運行。
4、設備使用壽命長：本設備由不銹鋼材，銅材、環氧樹脂等材料組成，抗氧 化性強，在酸性氣體中耐腐蝕。使用壽命長達10年以上。
5、“低溫等離子體”設備內使用電壓在36伏以下，安全可靠，對人體不構成任何傷害。
6、“低溫等離子體”設備組合性強：可以竄并聯混合應用，在處理高濃度異味氣體時能發揮明顯優點。
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