MF5000微型氣體質量流量計、熱式質量流量計、MEMS氣體流量傳感器

產品簡介：

MF5000微型氣體質量流量計采用是（MEMS）流量傳感器芯片技術和計算機自適應技術歷經多年，開發出的智能化全電子式氣體質量流量儀表，主要技術性能處于國際領先水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點；針對工業環境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝和維護方面也具有其獨特的優越性，可廣泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。

產品特點：

  - 采用微機電系統芯片加工技術和大規模集成電路的生產技術及材料生長技術，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。

  - 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。

  - 傳感器零點穩定度較之傳統熱式質量流量計有極大的改善。

  - 結合二次儀表的微電腦智能技術，使流量計重復性好，實現了計量準確可靠。

  - 技術進步帶來的結構簡化，使流量計較之傳統的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了能源消耗。

  - 采用LCD顯示"瞬時流量"和"累計流量"，清晰直觀，讀數方便。

  - 產品融合了電磁兼容設計技術，具有更高抗干擾能力。

  - 流量計帶有RS485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理。

  - 可以選配4～20mA標準電流信號輸出。

型號         通徑（mm）  接口（inch）     L          H    W     d       a       b       c

MF5003     3  1/8"        85     124  35     Φ3   25     16     50

MF5006     6  1/4"        95     127  35     Φ6   25     18     50

MF5008  8      3/8"        105  134  35     Φ8   25     22     50

MF5012     12  1/2"      116  137  40     Φ12 30     25     50

MF5019     19  3/4"      152  149  40     Φ19 30     40     70

技術參數：

精確度           ±(1.5+0.2FS)%

測量范圍        0.01~65m/sec 

測量管徑        1~19 mm    

使用環境         溫度: -20~65

顯  示             瞬時流量; 累計流量                  

輸出模式        4~20mA; RS485; RS232; 0~5V; 脈沖

校準條件        20oC; 101.325 kPa.

產品選型：

型號通徑(mm)接口(inch)工作壓力(MPa)      測量范圍

                                     sccm         SLPM        SCFM        NCMH

MF5003   3       1/8" 3.0   15-1500   0.15-15            

MF5006   6       1/4" 3.0          0.5-50       0.02-2       0.035-3.5

MF5008   8       3/8" 3.0          1.2-120    0.045-4.5 0.075-7.5

MF5012   12     1/2" 3.0          3-300        0.1-10       0.17-17

MF5019   19     3/4" 3.0          8-800        0.28-28    0.48-48