MF5000微型氣體質(zhì)量流量計(jì)、熱式質(zhì)量流量計(jì)、MEMS氣體流量傳感器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
MF5000微型氣體質(zhì)量流量計(jì)采用是（MEMS）流量傳感器芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年，開(kāi)發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量?jī)x表，主要技術(shù)性能處于國(guó)際領(lǐng)先水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點(diǎn)；針對(duì)工業(yè)環(huán)境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計(jì)；且具有多種信號(hào)輸出，能通過(guò)通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能；本產(chǎn)品在性能、安裝和維護(hù)方面也具有其獨(dú)特的優(yōu)越性，可廣泛應(yīng)用于石油、燃?xì)狻⒒?、冶煉、能源等各個(gè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長(zhǎng)技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級(jí)，使該流量計(jì)的靈敏度大大提高。
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計(jì)的量程比（范圍度）大大提高。
- 傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)熱式質(zhì)量流量計(jì)有極大的改善。
- 結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計(jì)重復(fù)性好，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。
- 技術(shù)進(jìn)步帶來(lái)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了能源消耗。
- 采用LCD顯示"瞬時(shí)流量"和"累計(jì)流量"，清晰直觀，讀數(shù)方便。
- 產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù)，具有更高抗干擾能力。
- 流量計(jì)帶有RS485通訊模塊，配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。
- 可以選配4～20mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào)輸出。
型號(hào) 通徑（mm） 接口（inch） L
H W d a b c
MF5003 3 1/8" 85 124 35 Φ3 25 16 50
MF5006 6 1/4" 95 127 35 Φ6 25 18 50
MF5008 8 3/8" 105 134 35 Φ8 25 22 50
MF5012 12 1/2" 116 137 40 Φ12 30 25 50
MF5019 19 3/4" 152 149 40 Φ19 30 40 70
技術(shù)參數(shù)：
精確度 ±(1.5+0.2FS)%
測(cè)量范圍 0.01~65m/sec
測(cè)量管徑 1~19 mm
使用環(huán)境 溫度: -20~65
顯 示 瞬時(shí)流量; 累計(jì)流量
輸出模式 4~20mA; RS485; RS232; 0~5V; 脈沖
校準(zhǔn)條件 20oC; 101.325 kPa.
產(chǎn)品選型：
型號(hào)通徑(mm)接口(inch)工作壓力(MPa) 測(cè)量范圍
sccm SLPM SCFM NCMH
MF5003 3 1/8" 3.0 15-1500 0.15-15
MF5006 6 1/4" 3.0 0.5-50 0.02-2 0.035-3.5
MF5008 8 3/8" 3.0 1.2-120 0.045-4.5 0.075-7.5
MF5012 12 1/2" 3.0 3-300 0.1-10 0.17-17
MF5019 19 3/4" 3.0 8-800 0.28-28 0.48-48