由于一般液氬汽化后未經過純化處理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供應商提供的氬氣超過了此范圍，但使用氬氣的客戶確不知道其質量，所以往往給生產產品質量造成影響。有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質量如何，只要經過純化裝置的處理后，進入拉晶爐的氬氣，純度始終是恒定的。一般 O2＜1ppm,水分＜2ppm，這樣穩定的氬氣對生產晶體質量是有保證的。

全自動氬氣凈化系統新型氬氣純化裝置作為新材料或其他惰性保護性氣體，我們推薦使用直接脫氧法（以純氣中殘留氧，水，總碳，粉塵顆粒為考核指標）

全自動氬氣凈化系統新型氬氣純化裝置本裝置優點：

1，設備操作形式全自動程序控制，人性化設置一鍵式手動再生按鈕，可視純氣質量控制再生時間，避免無謂再生，杜絕浪費

2，本設備全新技改，采用內置加熱模式，棄舍了原有設備臃腫的外形及大能耗，使其更節能，外形精巧，與同類產品對比，節能50%以上，更具經濟性

3，采用新型工藝 采用錳系脫氧劑常溫工作，使其成品氣質量更優。耗材利用率明顯提高，使其更換時間延至8年左右，減少支出，節能減負

4，本裝置具有原位再生功能，取微量純氣成品氣配以高純氫氣再生，無需任何外接氣源或輔助氣源

5，設備在出廠前已完成活化工藝，長時間運行無需檢修，在電，氣，水正常狀態下，設備全智能化程序運行，無需值守，

6，智能化：系統運行時間，故障報警，異常報警，運行軌跡等數據采集集成顯示于面板觸摸屏，氣體純度分析儀嵌入式安裝于設備正面，直觀，安全，PLC具備485信號源或模擬信號輸出，聯機可完成遠程控制

7，控制閥門選自德國寶德，1000萬次的開啟壽命，無限使用零維護

8，汽化器后設置雙回路減壓系統，工作壓力始終如一，安全穩定

全自動氬氣凈化系統新型氬氣純化裝置自動氬氣純化設備概述

A, 本方案按用戶提供參數定制：

 1、組成簡介

 純化設備工藝由高效脫氧劑、進口分子篩、精密過濾器、再生冷卻器、汽水分離器等組成。

 設備運行由PLC控制電磁閥、氣動閥、變送器等低壓電器運行。所有電器均選用知名品牌，并加有出口低壓旁路報警，保證供氣點無間斷工作。

2，工作原理簡介

   原料普通氬氣由設備工作進口閥、流量計進入設備工作組，工作組利用高效脫氧劑、分子篩、精密過、濾器對原料氬氣中的微量氧、水汽、塵埃、二氧化碳、甲烷、等雜質進行反應、吸附、過濾達到純化氬氣的目的。設備設有兩組工作組，一用一備。當一組工作負荷飽和后切換到另一組工作，處理飽和一組的工作組。這樣就可以連續的輸出純凈的氣體供工作點使用。

3，全自動氬氣凈化系統新型氬氣純化裝置再生簡介

設備工作脫氧塔與干燥吸附塔所裝耗材不是短暫的消耗品（吸附飽和后程序自動或手動切換再生，可以反復激活再生一千次以上），所以設備工作方式采用復流程，由兩組工作組組成。當一組工作組填裝料吸附飽和，裝填料已經無法對原料氬氣進行提純時，就需要對它進行處理，我們把這個處理的過程稱做再生。再生過程是在對工作組加溫、吹掃、加氫、冷卻、保壓的過程，并且是在常壓下完成的。由于工作點是不間斷的使用高純氬氣，所以在設備再生的時候切換至另一組工作組工作。此過程可以自動或在手動切換

 B、主要技術指標  

1． 處理氣量                       ≥200Nm3/h                 

2． 工作壓力                       ≤0.8Mpa                 

3． 原氬純度                       ＞99.99% （氧含量≤15ppm）                          

4． 純化后指標 純化后符合并高于《GBT4842-2006氬標準》中高純氬的要求           

                              氧氣  ≤0.5ppm                 

                              露點 ≤-76℃  

                              總碳 ≤0.5ppm 

                              塵埃 ≤3.5顆/升  粒徑≤0.1μm（100級）

5． 除氧器工作溫度                   常溫                    

6． 除氧器再生溫度                   350℃                   

7． 干燥器工作溫度                   常溫                    

8． 干燥器再生溫度                   350℃                                     

9． 除氧器和干燥器工作周期           據原料氣純度而定                   

10．除氧器和干燥器再生加熱時間       8h                       

11．裝機功率                         28KW                    

12．電源                             380V 50HZ                     

13．設備重量                         約1200Kg                 

14．外形尺寸：寬×長×高mm          1500×2000×2200      

 C,自動氬氣純化裝置概述

     氬氣純化裝置是針對需要使用超高純度氬氣的客戶而設計的。全自動氬氣純化裝置，具有觸摸面板一鍵式啟動、停止工作，操作簡單明了。裝置工作設有兩組工作組，交替工作，循環使用。其中一組工作，另一組再生冷卻備用。工作組工作無需加熱，為常溫工作。對應面板觸摸屏可查看設備組成硬件、操作簡介、觀察、監視工作組工作狀態、再生組再生狀態、工作組工作時間、切換時間、設備總工作時間、再生加氫及加熱時間和報警信息狀態。

裝置工作為常溫工作，壓降小、脫氧程度深、碳水含量低，均可達到并高于GB高純氬氣標準。

D,自動氬氣純化裝置優點

選材優良，氬氣流經閥門，管道選用304材質,徹底解決氣源重復污染，純氣流經    管路采用BA級，保證純氣的潔凈如一。

嚴格的質量控制，在制作過程中，邀請需方作全過程跟蹤督察。

進出口微氧分析儀在線監測，直觀顯示原料氣體氧含量及純化后的氧氣含量。

純氣最終過濾系統100級精密鎳管過濾器使其最終純氣顆粒小于0.1μ

加氫還原系統采用質量流量計控制，真正做到定時定量全自動運行。

一鍵式啟動設備，工作狀態實時顯示，操作簡單、安全、明了。