真空閥門是真空系統中用來調節氣流量、切斷和接通管路的元件,按照其工作原理主要分為截止閥、蝶閥、角閥、閘板閥、電磁閥、球閥、安全閥、調節閥等等。
真空閥門具有下列特點:
工作壓力低于大氣壓,而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2。介質的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70 ~ +150℃的范圍。
對這類閥門最基本的要求是保證連接的高度密封性和結構與墊片材料的致密性。
按介質壓力真空閥門可分成四組:
一、低真空閥門:介質壓力p=760~1毫米汞柱;
二、中真空閥門:p=1×10-3 毫米汞柱。
三、高真空閥門:p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱;
真空閥門選用時要考慮的依據有以下幾點:
一、根據工作壓力有低真空閥門、高真空閥門和超高真空閥門。
二、根據結構特點有蝶閥、球閥、隔膜閥、擋板閥、插板閥、角閥、直通閥、三通閥。
三、根據傳動原理有手動、氣動、電動、電磁。一般氣動是電磁先導、氣缸執行動作的過程,也可用手控制先導閥氣缸執行動作的過程。電動為手、電兩用,當停電時可用手動進行操作。
四、根據材料有不銹鋼、碳鋼、鋁合金為主體材料的閥門。
五、根據動密封的材料也可分金屬密封和非金屬密封閥門。軸封用O形橡膠圈一般真空動密封的漏率為10-4Pa.L/S,在軸運動過程中真空度不高,可用于要求不高的高真空條件下使用;軸封為金屬波紋管密封,其漏率為10-7Pa.L/S,適用于超高真空條件下使用。
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