臭氧的人工生產早在1857年德國人吉門斯就研制出其發生裝置。但由于其體積龐大、臭氧濃度低、成本高等問題一直沒有在實際應用中推廣。

    人工生成臭氧的主要方法主要有：電化學法、光化學法及電暈放電法等幾種。

電化學法

    電化學法是利用直流電源電解含氧電解質產生臭氧的方法。電解法生成臭氧具有抽樣濃度高、成分純凈、在水中溶解度高的有時，在醫療、食品加工、養殖業及家庭應用等方面具有廣泛前景。但電解法生成臭氧的成本比較高。
光化學法

    光化學法實質是仿效大氣層上空紫外線促使氧分子分解并聚合成臭氧的方法，即用人工產生的紫外線促使氧分子分解并聚合成臭氧的方法。此種方法產生臭氧的優點是對溫度、濕度不敏感，具有很好的重復性；同時，可以通過燈功率線型控制臭氧濃度、產量。缺點是臭氧產量低，不適合大規模使用。

電暈放電法

    電暈放電法就是在常壓下使含氧氣體在交變高壓電場作用下產生電暈放電生成臭氧的過程。電暈放電法臭氧發生器是相對能耗較低、單機臭氧產量最大、市場占有率最高、應用最廣的臭氧發生裝置。電暈放電法分為平板式、玻璃管式、滑輪式三種。平板式按介電體分為玻璃管式、陶瓷表面式；按電極形式可分為網狀電極式和管狀電極式。下面以平板式為例說明工作原理。

    在兩平行面板之間加上交變的高壓電源，兩電極之間防止玻璃或陶瓷等介電體，當交變高壓電作用于兩極時，極板間將發生放電現象，此時放電空間流動的氧氣在放電作用下發生分解反應，出現游離的氧原子，氧原子再與氧氣反應生成臭氧。這種平板式臭氧發生器具有結構簡單、可維護性好且性能良好，具備小型化條件，一般小型家用機均采用這種方式。