本文主要從筆者親身參與的多晶硅的用途及分類與改良西門子法分析的廢氣主要處理工藝以及廢氣焚燒處理優化分析，旨在與同行探討學習，共同進步。

廢氣處理

關鍵詞：多晶硅；廢氣；改良西門子法

隨著太陽能光伏產業的迅速發展，多晶硅的需求將持續增長。多晶硅生產中產生的廢氣大多屬于易燃易爆、有毒有害物質，主要來源于精餾工序、還原工序、尾氣回收工序(CDI)、氫化工序和合成工序等。

多晶硅生產中廢氣的處理方法主要有水洗法、焚燒法和堿液淋洗法。水洗法是多晶硅廠最傳統的廢氣處理方法，是通過大量的噴淋水吸收廢氣中氯化氫和氯硅烷，該方法資源浪費量巨大，同時存在重大的安全隱患，現在已基本不使用。焚燒法是將廢氣進行高溫燃燒和水解，得到二氧化硅和鹽酸，該方法因前期投資過大、設備要求過高、工藝復雜、運行成本高等原因，其應用受到限制。堿液淋洗法因其工藝簡單、投資和運行成本較低、處理效果好等優點，成為目前多晶硅廠最常用的廢氣處理方法。

雖然目前的多晶硅生產工藝能將副產物回收利用，實現閉路循環生產，但工藝技術并未完全成熟，生產系統的穩定性仍較差。特別是近幾年多晶硅廠產能和規模的快速擴大，產生的廢氣量也隨之激增，這對廢氣處理工藝提出了新的要求。因此，必須對多晶硅廠原廢氣處理工藝進行優化和改造，使之滿足安全環保、節能降耗和循環經濟等方面的要求，從而促進多晶硅產業的健康可持續發展。本文中以某公司3000t/a多晶硅生產線的廢氣處理工藝改造的介紹。

1.多晶硅的用途及分類

當前，晶體硅材料(包括多晶硅和單晶硅)是最主要的光伏材料，其市場占有率在90%以上，而且在今后相當長的一段時期也依然是太陽能電池的主流材料。多晶硅具有半導體性質，是極為重要的優良半導體材料，但微量的雜質即可大大影響其導電性。

多晶硅需求主要來自于半導體和太陽能電池。多晶硅按純度可以分為冶金級(工業硅)、太陽能級、電子級。

（1）冶金級硅(MG):石英砂在電弧爐中冶煉提純到98%并生成工業硅，其化學反應SiO2+C→Si+CO2↑一般含Si為90%～95%以上。

（2）太陽能級硅(SG):純度介于冶金級硅與電子級硅之間，至今未有明確界定。一般認為含Si在99.99%～99.9999%(4～6個9)。

（3）電子級硅(EG):一般要求含Si＞99.9999%以上，超高純達到99.9999999%～99.999999999%(9～11個9）。

2.改良西門子法分析

現在多晶硅生產中,大部分企業選擇用改良西門子法,即利用HCI(C12、HZ)與冶金級工業硅作為原料,在高溫條件下,將HCI與粗硅粉進行合成,制成SIH1C3(TC)S,并對SIC1H3進行化學精制提純與多級精餾處理,確保其質量分數可以達到99.99%以上’。經常上述處理后,在還原爐內1050℃硅芯上用高純HZ對SIH1C3進行還原處理,最終生成高純多晶硅棒。

在對生產尾氣進行時,即對尾氣中含有的SIH1C3、SI1C4、HCI、HZ、等進行還原處理,然后進行回收后返回生產流程內,其中SIC14在氫化爐內用超高純氫氣轉化成SIH1C3返回流程,確保整個生產流程為一個閉路循環。

另外,無論是選擇用何種生產方式,在生產過程中合成SIH1C3、精餾提純、還原以及尾氣回收等工序,均會產生一定量的廢氣,其中主要包括SIHC13、SIHZclZ、sicl4、Hcl、NZ、HZ以及少量金屬氯化物,使得廢氣具有毒性,并且具有易燃、易爆等特點,必須要采取措施對其進行有效處理,降低其對環境的污染,并提高生產安全性。

3.廢氣的主要處理工藝

根據廢氣的來源組分及環保要求，多晶硅生產過程中廢氣的處理，實際是對廢氣中的氯硅烷和氯化氫氣體進行有效的去除處理。因此，只需使處理后的廢氣符合氯化氫和二氧化硅的大氣排放標準即可。目前，多晶硅生產過程中廢氣的主要處理方法有水洗法、堿淋洗法和焚燒法，其中堿洗法根據使用的材料分為氫氧化鈉處理法和氫氧化鈣處理法。下面將對上述主要方法進行簡要描述。

（1）水洗法

水洗法的主要原理是水與氯硅烷廢氣在幾級串聯的淋洗塔內發生水解吸收反應，噴淋水可以大量吸收廢氣中含有的氯化氫和氯硅烷水解產生的氯化氫，經過幾級水解吸收處理后的廢氣達標排放。

（2）堿洗法

堿洗法的原理與水洗法相似，常用的堿液主要包括氫氧化鈉和氫氧化鈣溶液，堿液與廢氣中的氯硅烷和氯化氫同樣在幾級串聯的淋洗塔內或是密閉的反應釜內進行水解中和反應，產生硅酸鈉、氯化鈉、或是硅酸鈣、氯化鈣、少量二氧化硅和水，處理后的廢氣主要為氮氣、氫氣和水蒸氣達標排放。堿液淋洗后產生的廢堿水經中和壓濾后固渣外運填埋。

（3）燃燒法

燃燒法的主要原理是在有氧和助燃材料的條件下，廢氣在燃燒爐內進行高溫燃燒水解，從而將廢氣轉化為含有二氧化硅、氯化氫、少量氯氣和水蒸氣的高溫煙氣，通過對高溫煙氣的換熱、攔截和降溫吸收，以蒸汽的方式回收煙氣中的熱量，同時以副產物的形式回收煙氣中的二氧化硅和鹽酸，剩余煙氣經淋洗后達標排放。

4.多晶硅生產廢氣焚燒處理優化分析

焚燒工藝優化,可以在保證滿足環保性與安全性要求基礎上,對廢氣、廢液等進行有效治理。處理流程為焚燒、余熱回收、二氧化硅回收、急冷、鹽酸回收、淋洗塔與排放。多晶硅生產廢氣經過緩沖后,進人到焚燒爐內進行高溫氧化反應處理,對氯化硅烷進行徹底分解,生成5102、HCI等。

焚燒爐內出來的高溫煙氣中含有大量熱量,將其通人到余熱鍋爐內進行降溫處理,同時回收其中余熱,可以利用煙氣余熱來對脫鹽水處理,將其變為蒸汽回收利用。煙氣經過余熱鍋爐處理后,通過過濾器進行氣固分離,對煙氣中含有的5102粉塵進行消除處理,進人到急冷塔內,利用水噴淋降低煙氣溫度。

噴淋降溫后鹽酸利用石墨換熱器與冷卻水換熱冷卻后繼續進行噴淋降溫,并回收煙氣內含有的鹽酸。最后煙氣中含有的少量1C2與HCI通過堿液淋洗塔淋洗后,利用氣水分離器處理后排放。

5.廢氣處理方法的發展與建議

（1）傳統工藝的發展建議

對于傳統廢氣處理工藝而言，必須在達標處理的基礎上實現資源綜合回收利用，切實減少資源浪費，降低三廢處理成本。目前，已有部分企業開始進行傳統工藝處理廢氣的新探索：

①從多晶硅生產的源頭出發，優化上游單元的工藝運行參數，減少廢棄物的排放。

②通過對廢氣組分和含量的分析，在廢氣進入后續處理系統之前對廢氣進行深冷或其他有效的回收工藝，降低廢氣中氯硅烷的含量，減少后續廢氣的處理成本；同時，對于深冷回收的氯硅烷返回系統重新利用，降低整個系統的硅耗和氯耗。

③采用氫氧化鈣處理廢氣時，通過工藝的調整，可以使反應生成的產物主要為氯化鈣，且滿足工業生產要求出售；

④用氫氧化鈉處理廢氣時，可將含有大量氯離子的上清液進行電解，產生氫氣、氯氣和氫氧化鈉進行重復再利用，可大大降低生產成本；另一方面需繼續研究對廢氣處理后產生的硅酸鈉進行回收利用；

（2）燃燒工藝的發展建議

對于焚燒工藝而言，目前，我們有以下建議：

①實現焚燒爐、閥組及霧化系統的國產化，降低設備的購買及折舊成本；

②提高副產物的回收率和品位，增加產品的經濟價值；

③實現系統熱量的循環利用及提高回收蒸汽的利用率，從而減少助燃材料的使用；

結語；對多晶硅生產廢氣進行有效處理,對降低環境污染,提高生產安全具有重要意義。但是在選擇廢氣處理方法時,需要結合實際生產情況,對各項因素進行綜合分析,確保所選方法應用的合理性與有效性,不但要保證廢氣的合理處理,還可以對副產品進行回收利用,在總體上提高生產綜合效率。