無塵車間標準所使用的粒徑的測量單位是微米,1微米等于百萬分之一米。
無塵車間的級別是按其空氣潔凈度劃分的,美國聯邦標準準209A至D的無塵車間分級最容易理解,但該等級正被最新版本E所取代,后來又被ISO-14644-1所取代,盡管如此,老版本仍被廣泛采用,在聯邦標準的老版本中(A至D),大于等于0.5um粒子的數量是按每立方英尺空氣計數的,并以此計算和劃分無塵車間的等級,而最新的聯邦209E標準采用了公制,到1999年,頒布了ISO 14644-1,該標準已經被歐洲所有國家采用,并逐淅為世界其他國家所采用。
應當注意的是,無塵車間的ISO 14644-1級別與聯邦標準209的級別可以轉換,如果ISO標準的每立方米粒子濃度被35.2除,就轉換成每立方英尺的粒子計數。
ISO 14644-1規定的占用狀態如下:
“空態”:無塵車間所有設施要安裝完畢并在工作,但無生產設備,材料或人員在場。
“靜態”:無塵車間所有設施在運行,生產設備安裝完畢并以供需雙方同意的方式運行,但無人員在場。
“動態”:設施、設備以規定的方式運行,有規定數量的人員按事先同意的方式在工作。
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