在切割、研磨、劃片、化學研磨平坦化等工藝后的清洗過程中，都會產生研磨廢水，研磨廢水中含有少量的研磨膏、被研磨下來的微小顆粒以及清洗劑，如果直排對環境會產生極大的危害。

常見的研磨廢水處理一般采用物理化學沉淀+過濾相合的處理工藝，帶有增強沉淀池的高效物化沉淀技術——高效沉淀池去除主要污染物，選用重力式濾池進一步去除SS和有機物，污泥由高效沉淀池排出后通過板框壓濾機進行脫水處理。

主要工藝工藝特點：(1)高效沉淀池。高效沉淀池池體由機械攪拌混合區、絮凝反應區、推流反應區、沉淀濃縮區和后混合區五部分組成。其是依托污泥混凝、循環、斜管分離及濃縮等多種理論，通過合理的水力和結構設計，開發出的集泥水分離與污泥濃縮功能于一體的新一代沉淀工藝。

經過混凝后的原水進入兩個絮凝反應池，絮凝反應區是高效沉淀池的獨特特點之一，其含有一個能量擴散室以及一個非混合池室。

第一個室為能量擴散室，通過控制能量擴散和使用流量可變的水泵，控制污泥回流來優化絮凝反應。聚合物和回流污泥注入絮凝反應池可增強水的絮凝，污泥的回流可充分發揮其絮凝作用，減少藥劑的投加量，從而節約運行成本。

第二個室為非混合室，產生能夠快速沉淀的較大的、均勻的礬花。沉淀-濃縮池將原水沉淀與污泥濃縮兩個功能集于一體，采用斜管分離器將礬花與水分離，逆向流將水與污泥分離，沉積在池子底部的污泥借助于配有刮泥機系統的尖樁攪拌器加速濃縮。

(2)重力式濾池。重力式濾池，具有比表面積大，過濾阻力小的優點。微小直徑的濾料，極大程度增大了濾料的比表面積和表面自由能，增加了水中的雜質和顆粒與濾料的接觸機會和濾料的吸附能力，從而提高了過濾效率。

研磨廢水在處理過程中一般采用混凝+氣浮+化化處理工藝，根據排放標準的不同，前端廢水產生的工藝的不同，處理工藝隨之發生變化。