臭氧又稱富氧、三氧、超氧等。臭氧是一種有特殊腥味的藍色氣體，比重比空氣大，化學式為O3，比氧分子多了一個活潑的氧原子，易分解，活潑性強。具有極強的氧化性。
臭氧的殺菌原理：空氣中含有一定濃度的臭氧（2∽15ppm），對細菌、病毒等?生物內部結構有極強的氧化破壞性，可達到殺滅細菌繁殖體、芽孢、甲乙型肝炎病毒、真菌和原蟲胞襄等各種細菌，還可以破壞肉
臭氧的安全性：在1-5ppm濃度下，人短時間逗留（1-2分鐘內），幾乎沒有影響；若長時間（每天8小時）在臭氧環境下，濃度不應超過0.05ppm。
臭氧的應用：
1.食品、制藥原料的清洗、殺毒、消毒、殺滅微生物。
2.無菌包裝間、無菌實驗室、GMP、HACCP生產車間的空氣殺菌消毒。
3.冷藏間、冷藏庫的衛生消毒、保鮮。
4.更衣室、工作服消毒。
5.對食品、制藥行業用水的消毒。