超純水設備一般采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置，利用反滲透原理，有效去除水中各種鹽份、離子、顆粒，細菌等，系統工藝先進、產水水質穩定、操作簡便、運行費用低、綠色環保無污染、維護方便等優點，超純水設備能滿足化學工業的用水需求。

                                         工業超純水設備工藝流程

1、采用離子交換樹脂制備化工行業超純水的傳統水處理方式                                                               其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器 →活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備化工行業超純水的方式                                    其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備化工行業超純水的的方式 ，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝                                               其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點