沸石分子篩/人工吸附填料：

類似轉輪使用的人造沸石，利用一些硅氧化物的高溫高壓成型的多微孔材料，可以對VOCs廢氣的分子進行吸附，并且可以在較高的溫度條件下進行VOCs氣體分子的脫附。由于材料本身的不燃性，可以在裝載了吸附填料的罐體中先吸附儲存工藝廢氣，在吸附飽和后進行脫附處置。適合于間隔時間較長、溶劑使用量較小的生產工藝。
1）安全性：不燃性，不擔心吸附/濃縮系統有失火的危險。材料本身強度大大高于活性碳，發生粉化爆燃的可能性遠比活性碳低。

2）脫附溫度：相比脫附溫度只能達到90℃的活性碳，分子篩填料可以在1000℃范圍內工作。實際操作中利用近200℃的高溫煙氣在短時間內可充分脫附附著在填料微孔內的高沸點有機廢氣分子。

3）長壽命：頻繁使用條件下相比數月就必須更換的活性碳，分子篩填料的使用壽命可達到5年以上，大大降低使用成本和頻繁更換吸附材料而帶來的管理成本。
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 1、直燃氧化法（TO）：

使用燃燒器加熱爐體到有機廢氣的分解溫度后，通入生產工藝的尾氣使尾氣中的有機廢氣在高溫下發生熱氧化。出口的高溫煙氣通過換熱器將部分熱量傳遞給爐體入口的工藝尾氣。所產生的能耗來自進出口尾氣的溫度差。
直燃燃燒法具有加熱速度快，反應溫度高、有機物清除效率高的優點。但換熱效率由于換熱器換熱面積的限制通常只有60～70%。因此同等風量條件下直燃氧化法的能耗較大。通常適合于風量較小、有機廢氣濃度較高的生產工藝。

2、催化氧化法（CO）：

利用化學催化劑的催化性能降低通過催化床的有機物質的燃點，可以在較低溫度條件下就實現廢氣的熱氧化。由于不需要將反應溫度升高到高溫就可以實現有機物的分解氧化，系統可以在相對較低溫的條件下運行，升溫速度更快，且可以利用電熱管等方法對系統進行加熱，燃料選擇面更廣。
與直燃氧化法相同，可以通過換熱器將部分尾氣的熱量傳遞給設備入口的尾氣，降低前后的溫差。
催化氧化法通常應用在風量較小、有機廢氣濃度較高的生產工藝。更適合于需要隔爆的生產現場。但由于催化劑的性能限制，不可在廢氣中含有鹵素、金屬粉塵、硅粉塵等工藝的生產現場使用。

3、蓄熱催化氧化法（RCO）：

在蓄熱氧化爐的蓄熱塔內裝載催化床，可以在較高的換熱效率下實現較低溫的催化氧化。由于在爐體內必須留出空間給催化床，蓄熱催化氧化爐的換熱效率和保溫性能要低于蓄熱氧化爐，且催化效率低于通常的催化氧化爐。
適合于風量中、小的各類生產工藝，但由于催化劑的性能限制，不可在廢氣中含有鹵素、金屬粉塵、硅粉塵等工藝的生產現場使用。