HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國(guó) HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列是專為最苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計(jì). 真空閘閥 71000 系列由堅(jiān)固的不繡鋼剛坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門上雙密封設(shè)計(jì), 閥門內(nèi)部幾乎沒有移動(dòng)部件, 最大限度減少粒子的生成. 免維護(hù)設(shè)計(jì)(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴(yán)酷的應(yīng)用.
HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列特性:
1.易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿足所有應(yīng)用
2.不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護(hù)
3.真空閘閥堅(jiān)固的雙重密封設(shè)計(jì)和低粒子
4.使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
5.高壓和機(jī)械加工的不銹鋼閥體
6.真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
7.手動(dòng)或氣動(dòng)控制
8.標(biāo)準(zhǔn)法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
9.真空閘閥最大烘烤溫度 250°C
11.全部美國(guó)設(shè)計(jì), 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口
HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列參數(shù):
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閥門材質(zhì):
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- 閥門主體
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304 不銹鋼
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- 焊接波紋管軸封
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AM - 350
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閥門密封方式
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- 高真空
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氟橡膠
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真空:
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- 壓力范圍
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高真空 1x10-9 mbar
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- 漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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- 差壓關(guān)閉
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2 bar (任意位置)
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- 開啟前最大壓力
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≤ 1 bar
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烘烤溫度（不含電磁閥）:
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- 佛橡膠密封
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150 °c, 可選配置最大 250 °c
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- 驅(qū)動(dòng)方式
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手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c
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- 氣體
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80 psig (5.5 bar)
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- 電磁
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4.0 Watts
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- 供電
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120 VAC 50 /60 Hz
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- 可選電壓
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24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
或 12, 24 VDC
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- 位置指示器,最大
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115 VAC
或 28 VDC, 20 mA
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使用壽命: > 250,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)
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公稱通徑: DN 50 - 200 mm
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HVA 長(zhǎng)壽命嚴(yán)厲過程真空閘閥 71000 系列部件圖:
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上海伯東: 羅女士