HVA 真空閘閥 81000系列
美國 HVA 真空閘閥 81000 系列，閥門主體材質(zhì)鋁，適用于真空度 1X10 - 7 mbar 和烘烤溫度不超過 150°C 的高真空應(yīng)用。HVA 真空閘閥 81000系列專為系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)研發(fā)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、LED / FPD、涂料、鍍膜和生物制藥。
HVA 真空閘閥 81000系列 產(chǎn)品性能：
1.真空爐中一體釬焊完成，確保了閥門的最大完整性，有效消除了虛漏和缺陷部分，避免閥體變形。
2.比同等口徑的不銹鋼閥門氫氣脫氣率低
3.適用壽命長： 400,000啟閉次數(shù)
4.高性能 PEEK 組件
HVA 真空閘閥 81000系列 技術(shù)參數(shù)：
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閥門材質(zhì)：
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閥門主體
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6061-T6鋁
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軸封
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[DN40-80] 鋁; [DN100-500] 304SS
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支架
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6061-T6/ PEEK
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密封件
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氟橡膠
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閥門密封方式：
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高真空
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氟橡膠
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漏率
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<2×10-9 mbar l/s
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差壓關(guān)閉
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1 bar
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真空：
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壓力范圍
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高真空1x10-7 mbar
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漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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差壓關(guān)閉
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1.6 bar (任意位置)
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開啟前最大壓力
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≤ 30 mbar
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烘烤溫度（不含電磁閥）：
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閥門主體
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120 °c
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驅(qū)動(dòng)方式
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80 °c
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使用壽命：400,000啟閉次數(shù)
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公稱通徑：DN100-320 mm
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美國 HVA 真空閥門-美國最大真空閥門制造商。美國HVA原裝進(jìn)口真空閥門，超過50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計(jì)與制造。主營高真空閘閥，高真空角閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜、激光、科研、工業(yè)等領(lǐng)域。上海伯東是美國HVA 真空閥門在中國地區(qū)唯一指定總代理商。
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