伯東Pfeiffer 普發(fā)磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯東德國普發(fā)Pfeiffer磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M：抽速范圍在1400-2800l/s的磁懸浮渦輪分子泵。ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監(jiān)測系統(tǒng)和實(shí)時的轉(zhuǎn)子位移自動修正功能確保長時間的穩(wěn)定性和可靠性，同時運(yùn)行時也非常安靜。磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜和離子刻蝕等行業(yè)。
伯東Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M 優(yōu)點(diǎn)：
1.清潔無油，大抽速
2.免維護(hù)低成本保養(yǎng)費(fèi)
3.渦輪分子泵極低的噪音和震動
4.可任意角度安裝
伯東Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M 技術(shù)參數(shù)：
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分子泵型號
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分子泵連接尺寸 DN
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抽速 l/s
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壓縮比
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最高啟動壓強(qiáng)hPa
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極限壓力
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全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s
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啟動時間
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重量
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進(jìn)氣口
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排氣口
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氮?dú)?br />
N2
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氦氣He
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氫氣 H2
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氮?dú)?br />
N2
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氮?dú)釴2
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hPa
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氮?dú)釴2
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min
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kg
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ATH 1603 M
ATH 1600 MT
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250
|
40
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1,400
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970
|
540
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> 1X108
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1.7
|
< 6X10–9
|
67
|
6
|
42
|
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ATH 2303 M
ATH 2300 MT
|
250
|
40
|
2,150
|
1,800
|
1,100
|
> 1X108
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2.9
|
< 6X10–9
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67
|
8
|
68
|
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ATH 2800 M
ATH 2800 MT
|
250
|
40
|
2,200
|
2,400
|
1,550
|
> 1X108
|
2.1
|
< 6X10–9
|
84
|
10
|
93
|
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ATH 3200 M
ATH 3200 MT
|
320
|
40
|
2,800
|
2,500
|
1,700
|
> 1X108
|
2.1
|
< 6X10–9
|
84
|
10
|
93
|
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ATP 2300 M
|
320
|
40
|
1,950
|
2,050
|
1,700
|
> 1X108
|
2.1
|
< 6X10–9
|
37
|
8
|
60
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MT型號的分子泵配有集成加熱帶可以進(jìn)行溫度控制。其自帶加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)同時作用，可以確保泵的工作溫度相對恒定(最高工作溫度75°C)，同時最小化過程化學(xué)物或副產(chǎn)物在泵體內(nèi)因冷凝而產(chǎn)生的沉積。
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上海伯東: 羅女士