等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設(shè)計概念下，分三個即獨(dú)立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
1：微波激發(fā)區(qū)
等離子凈化
本工藝有3至9個微波激發(fā)單位，根據(jù)被處理風(fēng)量的不同數(shù)量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內(nèi)有效作用于被處理空間（區(qū)域），由于微波的功率相對較小，因此在激發(fā)能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設(shè)計只是把微波作為初頻激發(fā)源，在處理過程中作為一種預(yù)激發(fā)能。由于微波的預(yù)激功能，的提高等離子體區(qū)，極板區(qū)的激發(fā)能力和處理效果，由于微波技術(shù)的運(yùn)用，本工藝在同類設(shè)備的比較中顯得設(shè)備精煉而效果優(yōu)越。
2：低溫等離子體激發(fā)
本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無極管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū)，低溫等離子體區(qū)是工藝的技術(shù)，從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業(yè)中應(yīng)用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發(fā)體，較大限度地在無極管區(qū)實(shí)現(xiàn)低溫等離子體區(qū)，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有極強(qiáng)的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發(fā)是理想的一種能。在實(shí)踐應(yīng)用中，較大的科題在于低氣壓究竟是多少帕？管內(nèi)充什么樣的氣體有經(jīng)濟(jì)價值？這沒有理論模型可言，只有通過實(shí)踐、實(shí)驗、分析。
3:極板區(qū)
根據(jù)被處理氣體的流量，極板間的電壓分12KV、16KV至42KV，極板間加以足夠高的電壓，在引風(fēng)的作用下，極區(qū)由于負(fù)壓的作用，按照法拉第暗區(qū)理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當(dāng)概率的粒子可能實(shí)現(xiàn)低溫等離子體。
根據(jù)三類的功能區(qū)，集中的目的是實(shí)現(xiàn)低溫等離子體，由于理論和實(shí)際使用條件上的區(qū)別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。
電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實(shí)際使用中實(shí)現(xiàn)廢氣的有效處理是極為復(fù)雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內(nèi)完成。從理論到模型都能探究到相關(guān)的機(jī)理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內(nèi)躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分?jǐn)嗔眩谘┍朗降淖矒糁袛嗔押蟮牧Ｗ佑捎谫|(zhì)量小，被進(jìn)一步躍遷，與反應(yīng)堆內(nèi)的氧離子氫氧根離子發(fā)生反應(yīng)，生成無害無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應(yīng)堆內(nèi)臭氧以及紫外線的作用，徹底去除不同范疇的廢氣化合物，實(shí)地較為廣譜的去除空間。
等離子凈化器優(yōu)點(diǎn)：占地面積小；反應(yīng)速度快，等離子廢氣凈化器處理效果好，等離子廢氣凈化器可將惡臭物質(zhì)分解；啟動、停止十分快捷，即開即用，不受氣溫影響，操作簡單；反應(yīng)過程中只需用電，不用投加其他輔助藥劑和填料。
等離子凈化器處理技術(shù)是一個集物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)和環(huán)境科學(xué)于一體的交叉綜合性技術(shù)，該技術(shù)顯著特點(diǎn)是對污染物兼具物理效應(yīng)、化學(xué)效應(yīng)和生物效應(yīng)，且有能耗低、效率高、無二次污染等明顯優(yōu)點(diǎn)。其凈化作用機(jī)理包含兩個方面：
一是在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學(xué)能，使之分解為單質(zhì)原子或無害分子；
二是等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結(jié)合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發(fā)態(tài)。當(dāng)臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時，臭氣分子的化學(xué)鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，終生成無害產(chǎn)物。
低溫等離子體中能量的傳遞大致為：電子從電場中得到能量，通過碰撞將能量轉(zhuǎn)化為分子的內(nèi)能和動能，獲得能量的分子被激發(fā)，與此同時，部分分子被電離，這些活化了的粒子相互碰撞從而引起一系列復(fù)雜的物理化學(xué)反應(yīng)。因等離子體內(nèi)富含的大量活性粒子如離子、電子、激發(fā)態(tài)的原子和分子及自由基等，從而為等離子體技術(shù)通過化學(xué)反應(yīng)處理異味物質(zhì)提供了條件。它是基于放電物理、放電化學(xué)、反應(yīng)工程學(xué)的學(xué)科之上的交叉學(xué)科。近幾十年來，有關(guān)等離子體技術(shù)的研究非常活躍，為合成新物質(zhì)、新材料及環(huán)境污染治理等提供了一種新技術(shù)、新方法和新工藝。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。
等離子凈化器技術(shù)注意事項：
1、惡臭物質(zhì)能否被裂解，取決于其化學(xué)鍵鍵能是否比所提供的UV光子的能量要低。
2、裂解反應(yīng)的時間極短（＜0.01s），氧化反應(yīng)（見反應(yīng)④）的時間需2-3s。
3、提供的UV光子總功率不夠或者含氧量不足，會因為裂解或氧化不而生成一些中間副產(chǎn)物，從而影響凈化效率。對于高濃度大分子的有機(jī)惡臭物質(zhì)體現(xiàn)得較為明顯。
4、UV光解凈化的長期穩(wěn)定、效率高，需要反應(yīng)溫度＜70℃，粉塵量＜100mg/m3，相對濕度＜99%。
5、條件滿足的情況下，UV光解凈化的凈化效率高。