等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

1：微波激發區

等離子凈化

本工藝有3至9個微波激發單位，根據被處理風量的不同數量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內有效作用于被處理空間（區域），由于微波的功率相對較小，因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發源，在處理過程中作為一種預激發能。由于微波的預激功能，的提高等離子體區，極板區的激發能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果優越。

2：低溫等離子體激發

本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無極管組成的低溫等離子體激發區，低溫等離子體區是工藝的技術，從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業中應用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發體，較大限度地在無極管區實現低溫等離子體區，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有極強的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發是理想的一種能。在實踐應用中，較大的科題在于低氣壓究竟是多少帕？管內充什么樣的氣體有經濟價值？這沒有理論模型可言，只有通過實踐、實驗、分析。

3:極板區

根據被處理氣體的流量，極板間的電壓分12KV、16KV至42KV，極板間加以足夠高的電壓，在引風的作用下，極區由于負壓的作用，按照法拉第暗區理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現低溫等離子體。

根據三類的功能區，集中的目的是實現低溫等離子體，由于理論和實際使用條件上的區別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。

電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實際使用中實現廢氣的有效處理是極為復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應，生成無害無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用，徹底去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。

等離子凈化器優點：占地面積小；反應速度快，等離子廢氣凈化器處理效果好，等離子廢氣凈化器可將惡臭物質分解；啟動、停止十分快捷，即開即用，不受氣溫影響，操作簡單；反應過程中只需用電，不用投加其他輔助藥劑和填料。

等離子凈化器處理技術是一個集物理學、化學、生物學和環境科學于一體的交叉綜合性技術，該技術顯著特點是對污染物兼具物理效應、化學效應和生物效應，且有能耗低、效率高、無二次污染等明顯優點。其凈化作用機理包含兩個方面：

一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或無害分子；

二是等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發態。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。與有害氣體分子發生化學反應，終生成無害產物。

低溫等離子體中能量的傳遞大致為：電子從電場中得到能量，通過碰撞將能量轉化為分子的內能和動能，獲得能量的分子被激發，與此同時，部分分子被電離，這些活化了的粒子相互碰撞從而引起一系列復雜的物理化學反應。因等離子體內富含的大量活性粒子如離子、電子、激發態的原子和分子及自由基等，從而為等離子體技術通過化學反應處理異味物質提供了條件。它是基于放電物理、放電化學、反應工程學的學科之上的交叉學科。近幾十年來，有關等離子體技術的研究非常活躍，為合成新物質、新材料及環境污染治理等提供了一種新技術、新方法和新工藝。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。

等離子凈化器技術注意事項：

1、惡臭物質能否被裂解，取決于其化學鍵鍵能是否比所提供的UV光子的能量要低。

2、裂解反應的時間極短（＜0.01s），氧化反應（見反應④）的時間需2-3s。

3、提供的UV光子總功率不夠或者含氧量不足，會因為裂解或氧化不而生成一些中間副產物，從而影響凈化效率。對于高濃度大分子的有機惡臭物質體現得較為明顯。

4、UV光解凈化的長期穩定、效率高，需要反應溫度＜70℃，粉塵量＜100mg/m3，相對濕度＜99%。

5、條件滿足的情況下，UV光解凈化的凈化效率高。