等離子段——廢氣由管道經過管道進入降壓段，降低風速后進入等離子段，《等離子體是不同氣態、固態、液態的第四態物質，由高能電子、正負離子、自由基（OH、H、O、O3等）和中性粒子等組成。等離子分為平衡等離子和非平衡等離子，低溫等離子體主要由氣體放電產生》氣體經過等離子氣體凈化裝置的反應器區域時，等離子體中的活性自由基可以有效的破壞各種病毒、細菌中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而導致其死亡。在高能電子和自由基強氧化等多重作用下，氣體中的有機物分子鏈被斷開，發生一系列復雜的氧化還原反應，生成CO2,H2O等無害物質，正負離子可以清新空氣。另外，借助等離子體中的離子與物體的凝并作用，可以對小至亞微米級的細微顆粒物（0.1-3微米）進行有效的收集。

光觸媒段——經等離子段處理后的有機廢氣經過光氧催化段，進行氧化還原反應，利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣，臭氧是一種強氧化劑，也是世界公認的光譜高效殺菌消毒劑。臭氧比氧分子多了一個活潑的氧原子，化學性質特別活潑。其強大的氧化性，既可以氧化分解有機物，也可以分解無機物，對主要臭氣氨、甲苯、二甲苯、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳、苯乙烯都可以裂解。在臭氧的作用下，這些有機污染物由大分子物質被分解為小分子物質，沒有任何有毒殘留，不會形成二次污染，被譽為“清潔的氧化劑和消毒劑”。

選用特定的光催化劑TiO2，在特定波長的高能UV紫外線的照射下產生催化作用，使周圍的水分子及空氣激發生成活性的 ·OH自由基、H2O2、臭氧O3等。這些基團氧化能力很強，能裂解氧化噴漆廢氣中揮發性有機物質分子鏈，改變物質結構，將高分子污染物質裂解、氧化為低分子無害物質，其去除效率可99%。