UV光氧凈化器能處理氨、硫化氫、甲硫醇、甲硫醚、苯、苯乙烯、二硫化碳、二甲基二硫醚等高濃度混合氣體，使呈游離狀態的單分子被臭氧氧化結合成小分子無害或低害的化合物，如CO2、H2O等。UV光氧凈化器處理技術無論在投資成本，運行費用，無二次污染，凈化效率等方面經實際工程驗證，具有常規廢氣處理技術無法比擬的優點。
UV光解廢氣處理技術是采用高能UV紫外線，在光解凈化設備內，裂解氧化惡臭物質分子鏈，改變物質結構，將高分子污染物質裂解、氧化為低分子無害物質，其脫臭效率可百分之九十，脫臭效果大大超過國家1993年頒布的惡臭物質排放標準，UV光解廢氣處理技術利用高能高臭氧UV紫外線光束分 解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧不穩定需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它廢氣有非常明顯的清除效果。
工業廢氣光解凈化設備包括：uv光解凈化設備、光催化裝置、uv光解技術、光解設備、光催化空氣凈化、uv催化光解、光氧催化廢氣凈化器、光催化降解裝置、光觸媒、光微波、光量子、光氧催化除臭設備。
一般來說，UV光分 解有機物的方式有3種。1、適當波長光線直接照射，分子鏈獲取能量而斷裂，使之分 解；2、光線分 解空氣中氧，產生具有氧化性的游離活性氧，從而氧化分 解有機物；3、適當波長光線通過照射催化劑，在催化劑表面產生光生電子（e-）和光生空穴(h+)，通過系列反應可生產OH-自由基，從而將有機物分 解。
單單從原理上來說，單獨UV紫外線光也可分 解有機物。從效果上來說，UV+催化劑組合工藝效果更加優異，你可以簡單理解為強化或深化處理。
所以等離子光氧凈化器廢氣處理時，在光解室內添加光催化劑二氧化鈦濾網可以提升處理效果。此時須配合波長為254nm的光解燈。
另外，在光解設備的前后兩側可放置活性炭濾網，其作用如下：
前端即進風口放置活性炭濾網，可以吸附廢氣中大顆粒的固態物質，后端即出風口放置活性炭濾網，可增加UV光解設備產生的活性氧和OH-同有機物在此光解系統內的反應時間，也可在活性氧和OH-富余的時候將前后兩端活性炭濾網已吸附的部分有機物氧化去除，延長活性炭濾網使用周期。
等離子廢氣處理設備是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體分子被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分 解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
等離子凈化器設備是由電源和齒板放電裝置，使其產生高強度、高濃度、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對有害廢氣分子進行氧化還原反應，將廢氣中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。等離子凈化器利用催化氧化劑的強氧化性和高吸附性，持續地對等離子體未處理盡的污染物和生成的物質進行催化氧化反應，使有害廢氣經多級凈化后最終達標排放。
介質阻擋放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產生大量的新生態氫、臭氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內部富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，最終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的，廢氣處理根據不同的適應場合來選擇合適的設備，是根據情況具體分析。
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