污水處理廠在運行的過程中，廢水中的COD等物質通過微生物的新陳代謝作用，轉變成甲烷、氨、硫化氫、甲硫醇、甲硫醚等廢氣。污水處理廠在運行的過程中，廢水中的COD等物質通過微生物的新陳代謝作用，轉變成甲烷、氨、硫化氫、甲硫醇、甲硫醚等廢氣體產生。
應用紫外線光解技術原理處理廢氣物質，其化學反應過程是極其復雜的過程，紫外線光能能將惡臭化學物質拆解為獨立的原子，再通過分解空氣中的氧氣，產生性質活躍的正負氧離子，繼而產生臭氧，同時將拆解為獨立原子的化學物質通過臭氧的氧化反應，重新組合成低分子的化合物，如水、二氧化碳等，這是一個協同、連鎖復雜的反應過程，在很短的時間內（2-3s）就可完成。