UV光氧凈化設備對氣態有機污染物的降解機理其實是這樣的，有足夠的能量來產生自由基，引發一系列復雜的物理、化學反應。由臭氧發生器作用引起的氣體有機物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激發、原子。分子間的相互結合及加成反應。這個能量足以使大多數氣態有機物中的化學鍵發生斷裂，從而使其降解。從凈化空氣速率考慮，我們選擇了-C波段紫外線和臭氧發生器結合電暈電流較高化裝置采用脈沖電暈放吸附技術相結合的原理對有害氣體進行消除，其中-C波段紫外線主要用來去除硫化氫、氨、苯、二甲醛、丙酮、尿烷、樹脂、等氣體及消毒清潔。污染介質在電離的作用下，產生活性自由基，活化后的污染物分子經過定向鏈化學反應后被脫除。當平均能量超過污染介質中化學鍵結合能時，分子鏈斷裂，污染介質分離，并在臭氧發生器吸附場的作用下被收集。介質內分子濃度及共存的介質成分。
UV光氧設備所采用的光化學及光催化氧化法是目前研究較多的一項專業氧化技術。所謂光催化反應，就是在光的作用下進行的化學反應。光化學反應需要分子吸收特定波長的電磁輻射，受激產生分子激發態，然后會發生化學反應生成新的物質，或者變成引發熱反應的中間化學產物。光化學反應的活化能來源于光子的能量，在太陽能的利用中光電轉化以及光化學轉化一直是十分活躍的研究領域。
等離子光氧凈化器從工程的設計、配套、安裝、調試、維護等方面提供了很大的可行性、可靠性、靈活性、有效性。UV光氧設備是一種專門去除有毒有害氣體及惡臭氣體的一種裝置。它具有高速率、運行成本低、設備占地面積小，自重輕、無任何機械動作，無噪音等特點，光氧催化廢氣處理設備凈化速率在96%以上，是目前市場上處理有機有害氣體有效的廢氣凈化設備。光催化氧化技術單獨用在有機廢氣處理領域中的案例相對較多，但將光催化氧化技術結合常規活性炭吸附工藝應用于異味、惡臭氣體的凈化處理目前還未廣泛應用于實際。目前已有部分企業進行嘗試采用光催化氧化+活性炭吸附的方式對有異味、惡臭的有機廢氣進行處理，文中以某化工廠有異味有機廢氣處理措施的實際運行數據來淺析該方法的有效性。
UV光氧設備的工作原理有足夠的能量來產生自由基，引發一系列復雜的物理、化學反應。由臭氧發生器作用引起的氣體有機物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激發、原子，分子間的相互結合及加成反應。這個能量足以使大多數氣態有機物中的化學鍵發生斷裂，從而使其降解。從凈化空氣速率考慮，我們選擇了-C波段紫外線和臭氧發生器結合電暈電流較高化裝置采用脈沖電暈放吸附技術相結合的原理對有害氣體進行消除，其中-C波段紫外線主要用來去除硫-化-氫、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、丙2酮、尿烷、樹脂、等氣體及消毒滅2菌。
UV光氧設備的催化原理是這樣的：
I、O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化，可有效地殺滅細菌，將有毒有害物質破壞且改變成為低分子無害物質；
II、催化劑涂層，在C波段激光刺激它產生活性，強化催化氧化作用；
III、在分解過程中產生高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有極強的清理效果；通俗的講光催化氧化就是在外界可見光的作用下發作催化作用，光催化氧化反應是以半導體及空氣為催化劑，以光為能量，將有機物降解為CO2和H2O及其它無害無害成份。
關于等離子光氧一體機的技術原理，其實所謂光催化反應，就是在光的作用下進行的化學反應。光化學反應需要分子吸收特定波長的電磁輻射，受激產生分子激發態，然后會發生化學反應生成新的物質，或者變成引發熱反應的中間化學產物。光化學反應的活化能來源于光子的能量，在太陽能的利用中光電轉化以及光化學轉化一直是十分活躍的研究領域。光催化氧化技術利用光激發氧化將O2、H2O2等氧化劑與光輻射相結合。所用光主要為紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工藝，可以用于處理污水中CCl4、多氯聯苯等難降解物質。另外，在有紫外光的Fenton體系中，紫外光與鐵離子之間存在著協同效應，使H2O2分解產生羥基自由基的速率大大加快，推動有機物的氧化去除。
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