等離子體工業廢氣處理技術已研制出標準化廢氣治理設備，利用所產生的高能電子、自由基等活性粒子激活、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而消除各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化、無毒化，保護人類生存環境。由于其對污染物分子的高效分解且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理開辟了一條新的思路。等離子體反應區富含極高的物質，如高能電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應，使污染物質在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。與傳統的電暈放電形勢產生的低溫等離子技術相比較，等離子體技術放電密度是電暈放電的1500倍，這就是傳統低溫等離子體技術治理工業廢氣99%以失敗而告終的原因。

光氧等離子催化設備采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度是其他技術產生等離子體密度的1500倍，初用于氟利昂類、哈隆類物質的分解處理，后延伸至工業惡臭、異味、有毒有害氣體處理。該技術節能、環保，應用范圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，并對二惡英有良好的分解效果。

光氧等離子催化設備是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。