低溫等離子技術是在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或無害分子；二是等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發態。
當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量·OH、·HO2、·O等活性自由基和氧化性極強的O3，與有害氣體分子發生化學反應，最終生成無害產物。使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質害的物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無從而使污染物得以降解去除。專業涂裝噴漆有機廢氣處理