低溫等離子體技術是近年發展起來的廢氣處理新技術，低溫等離子體處理廢氣的原理為： 
當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。
等離子有機廢氣處理設備的優勢：
在現實生活中，惡臭的物質很多，來源亦廣，主要是由有機物的加熱或燃燒，有機溶劑揮發，肉類加工的廢液、廢渣處理等產生的。皮革廠、噴漆廠、化工廠、制漿造紙廠、屠宰廠，垃圾站等都是惡臭的污染源。
惡臭作為七大環境公害之一，對人體健康和生態環境會造成嚴重危害，輕者使人感到不適、出現頭痛、頭昏、惡心、嘔吐、食欲不振和精神不集中等癥狀，重則對人的呼吸系統、循環系統、消化系統和生殖系統造成不同程度的毒害，其中芳香族化合物如苯、甲苯、苯乙烯等還能使人體產生畸變、癌變。為此必須對惡臭施行有效的控制和治理。