低溫等離子凈化器可以凈化有機廢氣和惡臭廢氣，廢氣在幾秒之間時間范圍內流星雨狀的高能離子與介質內分子(原理)發生非彈性碰撞，等離子猛烈轟擊廢氣和臭味等污染物分子，產生裂變分解反應，將能量轉化成基態分子(原子)的內能，發生激發，離解、電離等一系列過程使污染介質處于活性狀態，污染介質在等離子體的作用下，產生高濃度、高強度、高能量的各種活性自由基、高能電子、高能離子等，同時產生大量臭氧、原子氧、生態氧等混合氣體，進行一系列復雜的分化裂解和氧化還原反應。(初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。低溫低溫等離子凈化器應用在有機廢氣和惡臭廢氣的凈化處。