HEPA過濾器由任意地被安排的纖維席子組成。 影響作用的關鍵度規(guī)是纖維密度和直徑和過濾器厚度。 空域在HEPA過濾器纖維之間是大於0.3 μm。 共同的假定HEPA過濾器行動像a篩子那里微粒小於的開頭可能通過是不正確的。 至於為膜濾器微粒很大他們是一樣寬的像纖維之間的的開頭或距離不可能在他們之間根本通過。 但HEPA過濾器被設計瞄準更小的污染物，并且微粒由以下三個機制之一主要困住(他們堅持纖維) ：
攔截微粒從事流線在空氣小河來臨在纖維的一條半徑范圍內(nèi)并且遵守它的地方。裝緊更大的微粒無法通過跟隨空氣小河的彎曲的等高的地方避免纖維和被迫在他們中的一個中直接地埋置; 這增加以減少的纖維分離和更高的氣流速度。擴散一個改進機制是碰撞的結(jié)果與氣體分子由***小的顆粒，特別是那些在直徑的0.1 μm以下，從而在他們的道路被妨礙并且被延遲穿過過濾器; 這行為是相似的蘇格蘭的植物學家Robert Brown的行動并且培養(yǎng)可能性微粒將路過二個機制之一上面; 它變得統(tǒng)治在更低的氣流速度。擴散在0.1 μm直徑微粒大小之下占優(yōu)勢。 裝緊和攔截在0.4 μm之上占優(yōu)勢。 在之間，在0.3 μm MPPS附近，擴散和攔截占優(yōu)勢。