低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。等離子廢氣凈化設備的特點：

1、工藝簡潔：等離子廢氣凈化設備操作簡單，方便，無需專人看管，遇故障自動停機報警。

2、節能：低溫等離子體處理煙氣能耗低，運行費用低廉，2～5瓦時/米3。

3、適應范圍廣：在-60℃~+300℃的環境內均可正常運轉，特別是在潮濕，甚至空氣濕度飽和的環境下仍可正常運行。

4、設備使用壽命長：本設備由不銹鋼材，石英、鉬等材料組成，抗氧化性強，在酸性氣體中耐腐蝕。

5、組合性強：低溫等離子體處理設備可以竄并聯混合應用。

6、500～2000米3/時為一個低溫等離子體處理裝置單元，一個單元用一個脈沖電源激勵。

等離子廢氣凈化設備單元規格：

1． 輸入電壓：AC380V（或AC220V）（±10%）

2． 功率：2～5KW/1000米3（2～5瓦時/米3）；

3． 主機重量：10KG；變壓器重量：35Kg；低溫等離子體處理裝置重量：10Kg

4． 主機和變壓器之間的連線：<5m；

5． 主機尺寸：250(W)×200(H)×360(D)mm3

6． 變壓器尺寸：230(W)×280(D) ×290(H)mm3

7． 低溫等離子體體積：處理通道內充滿低溫等離子體

8． 工作環境：

溫度： －10℃～+40℃

相對濕度： 20%～93%（不結露）

9． 大氣壓力： 86Kpa～106Kpa

10．氣體流速：1～30米/秒

11．處理量：20～20000米3/小時

12．功耗：2～5瓦時/米3

13．凈化氣體升溫：小于5°C

14．壓損：小于300Pa

15．效率：含硫惡臭氣體（H2S，CS2）85%，VOC（苯，甲苯，二甲苯）95%