廢氣處理基本原理方法：首先用低溫等離子體產生高能量電子，直接分解廢氣因子中的有害氣體，使其降解成為二氧化碳和水等，再利用光媒觸的作用，降解尚未完成的各類有害氣體，從而達到治理效果。因為廢氣因子降解的最終產物主要為二氧化碳和水，因此沒有二次污染的麻煩問題，當然廢氣處理過程中也會半生少量的氯化氫，固體以及油狀顆粒物。這些物質經過檢測也可以達到國家排放標準。所以選用此法來治理車間廢氣。
第二步：經前面處理較為干凈的廢氣，接入等離子廢氣處理設備，通過等離子放電，打斷有機廢氣分子鍵，與此同時有和高能量活性基團重新結合生成水和二氧化碳，有機廢氣被去除，然后導入二級噴淋凈化塔，進一步吸收一些小分子碎片，便于尾氣檢測，最后由煙囪高空達標排放（也可低空排放）。此過程既不同于化學反應過程而生成第三種物質，也不同于掩蓋作用，不會造成二次污染，可徹底去除制藥廠生產車間里的臭味。