去離子水（deionized water）是指除去了呈離子形式雜質后的純水。國際標準化組織ISO/TC 147規定的“去離子”定義為：“去離子水完全或不完全地去除離子物質，主要指采用離子交換樹脂處理方法。”現在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細菌的繁殖。

在半導體行業中，去離子水被稱為“超純水”或是“18兆歐水”。

去離子水制取工藝及其特點：

1、離子交換樹脂制取去離子水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：

原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床→后置保安過濾器→用水點。

（特點：污染比較大，自動化程度低，初期投入低）

2、反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制取去離子水的方式，其基本工藝流程為：

原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→混床→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

（特點：污染小，自動化程度高，初期投入中等，價格適中）

3、反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配制取去離子水的的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：

原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

（特點：環保，自動化程度高，初期投入大，價格相對比較貴。

用途：

1、實驗室、化驗室用水，一般實驗室的常規試驗、配置常備溶液、清洗玻璃器皿等；

2、電子工業生產，如顯像管玻殼、顯像管、液晶顯示器、線路板、計算機硬盤、集成電路芯片、單晶硅半導體等；

3、電力鍋爐，鍋爐所需軟化水、除鹽；

4、汽車、家用電器、建材表面涂裝、電鍍、鍍膜玻璃清洗等；

5、石油化工行業，化工反應冷卻水、化學藥劑、生產配液用水等；

6、工業紡織印染、鋼鐵清洗用水等；

7、食品、飲料、酒類、化妝品生產用水；

8、海水、苦咸水等凈化……

處理步驟：

從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 ：

1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質

2、然后高壓通過反滲透膜

3、最后一般還要經過一步紫外殺菌以去除水中的微生物

4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆。

相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水

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