真空泵特點：

啟動快，耗工少。運轉維護費用低，抽速大、效率高，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感，有較大抽氣速率，能迅速排出突然放出的氣體。這個壓力范圍恰好處于油封式機械真空泵與擴散泵之間。因此，它常被串聯在擴散泵與油封式機械真空泵之間，用來提高中間壓力范圍的抽氣量。這時它又被稱為機械增壓泵。

      羅茨真空泵簡介 一、羅茨真空泵的概念 羅茨式真空泵(簡稱羅茨泵)是利用兩個8字形轉子在泵殼中旋轉而產生吸氣和排氣作用的。由于它在低壓力范圍內工作，氣體分子自由程較大，氣體通過微小縫隙的阻力很大，因而能獲得較高的壓縮比，可以作為增壓真空泵使用。 羅茨式真空泵根據泵體結構可分為兩類：一類為普通型，另一類為直排大氣型。

二者區別除結構之外，主要是普通型羅茨泵不能單獨把氣體直接排入大氣中去，需要和前級真空泵串聯使用，被抽氣體通過前級真空泵將氣體排到大氣中。而后者則可以直接將被抽氣體排入大氣。漢鐘現有PS和PDR系列真空泵中的Booster機體就屬于普通型羅茨泵。普通型羅茨泵又可分為一般型泵和帶旁通閥型泵兩種。

一般型泵的最大允許壓差在2000Pa~10000Pa范圍，而帶旁通閥的壓差僅限于2000Pa~4000Pa。當壓差超過每一規格泵的規定值時，旁通閥就會自動頂開，泵出口出的氣體經旁通閥返流入進口處，以使泵安全運行

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