材質說明:
過濾濾料:H13-H14玻纖濾紙;
過濾效率:H13-H14,H13:99.97-99.99%@0.3μm、H14:99.995-99.999%@0.3μm(MPPS);
框 材:鋁型材框、鋁板折框、鍍鋅框、不銹鋼框;
護網材質:噴塑菱形網;
密封膠條:氯丁橡膠;
過濾尺寸:依據客戶實際要求制定,鋁型材參考厚度:46mm、50mm、69mm、80mm、90mm、96mm;
適合場合:
適用于超LSI制造工廠、半導體制造工廠、原子力研究中心、無塵室層流設備、工作臺等其他要求超高潔凈度的場合。