什么是FFU?
FFU(Fan Filter Unit)是風機和過濾器的組合,也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端,一般放置在吊裝的“干式”
墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊,下面部分為過濾器。根據潔凈度的要求,過濾器可為不同等級的高效(HEPA)或超高效(ULP
A)過濾器,為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力,還要克服整個循環風所有通道部件的阻力,從而維持設定
的運行風速。FFU系統具有設計施工簡便,風速調節靈活,潔凈區易于變更等特點,因此已成為工業潔凈室的流行系統形式之一。
FFU具有特點:
第一:靈活性。因為FFU是自帶動力的,它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里,可根據需要,分區控制。而且,隨著半導體生產工藝的
變化,廠房布局必然要作相應調整,FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松,而且不會帶來二次投資。
第二:可再利用性。從理論上講,一時不用的FFU設備,可以拆下來,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓,使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣,靜壓箱內的顆粒就不會受到壓
力的作用泄漏到潔凈區里,使得密封變得很簡單而且安全。
第四:縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝,因為風管在潔凈工程中,占掉很大的建設周期,任何一個投資者都希望投資能盡快帶
來收益,選用FFU成為了一種可能。
第五:減少運行成本。雖然在選用FFU時,初期投資要比使用風管通風高,但它在后期運行中,突出的表現出節能、免維護等特點。用在循環減
少40%的運行成本。
FFU組合的關鍵性能參數:
模數尺寸(ceiling modular size):安裝吊頂龍骨中心線的間距,FFU常用的標準模數尺寸為1200X600(4’X2’),1200X900(4’X3’),120
0X1200(4’X4’)。
實際尺寸(actual size):鴻茂實業的FFU過濾器的實際尺寸=模數尺寸-(龍骨斷面寬度-25mm),風機模塊的實際尺寸比過濾器稍大4mm。
比如說常用的吊頂龍骨端面寬度為55mm,模數尺寸為1200,900,600所對應的FFU過濾器實際尺寸為1170,870,570,風機模塊的實際尺寸
為1174,874,574。
機外余壓(ESP):在某一設定風速下,風機模塊的總靜壓(TSP)扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力,即為機外余壓(ESP),單位是Pa。ESP是
指FFU整機能克服潔凈室循環風阻力的能力,無論是標注FFU機外余壓或風機模塊的總靜壓TSP,都必需指名送風風速或風量,否則沒有意義。
輸入能耗(input power consumption):FFU正常運轉時輸入電壓和輸入電流的乘積,單位是W。顯然,FFU在不同的運行工況點,即在不
同的運行風量和總靜壓時,輸入能耗不同。因此,如果不指明運行工況點,輸入能耗值沒有意義。
單體噪音(noise level):根據標準IES-RP-CC002,FFU正常運轉時在距離出風面中心正下方1.2mm處的噪音值,單位是dB(A)。FFU在不同的
運行工況點,即在不同的運行風量和總靜壓時,噪音不同。因此,如果不指明運行工況點,噪音值沒有意義。
微振(micro vibration):根據標準IES-RP-CC002,FFU在最大運轉工況點時的振動幅度和振動速率,單位分別是mm和mm/s。
送風均勻度(air uniformity):根據標準IES-RP-CC002,FFU正常運轉時,在距離出風面上方150mm(6”)的水平面上測量逐點的風速,得出
平均風速值。平均風速與最大風速和最小風速的偏差比即為送風均勻度,單位為+/-%。標準IES-RP-CC002中要求FFU的任一點的送風風速與其平
均風速的偏差均應在+/-20%以內。
過濾器效率等級(filter grade):依據歐洲標準EN1822,過濾器等級從H10-H14,U15-U17。或依據美國標準MIL-282(HEPA),對于0.3um
的效率值;依據美國標準IES-RP-CC007.1,對于0.12um的效率值。
鴻越實業FFU的風機模塊具有如下特點:
性能可靠:采用國內出口品牌的內轉子馬達及直驅離心葉片和電氣元器件,風機保修期:2年內出問題包換。
型號齊全:根據馬達有交流(AC)和無刷直流(EC);根據輸出靜壓有標準型和高靜壓型;根據模數尺寸有1200X600,1200X900,1200X1200,
1500X750;根據箱體材質有鋅鋁涂層鋼板(標準型)、不銹鋼型、鋁板。
優異的出風均勻度:達到并優于國際標準IES-RP-CC-002中的+/-20%的要求。
低噪音:科學的馬達風機選型和轉速設計、獨特的導流和消音材料的應用、合理的箱體尺寸設計,使鴻茂實業FFU的噪音水平低于同類產品。
低微振:總振動速率均小于1mm/s,振幅不超過4um低能耗和低散熱量,一流的風機品質和動平衡設計,以及箱體本身的零壓損,使鴻茂實業FFU在
同樣的輸出工況時運行能耗和散熱量低于同類產品。
靈活的控制方式:AC型可采用單臺獨立調速器或分組變壓式調速器,并兼有報警指示功能。
主要技術參數:
型號
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HM-FFU-2×2
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HM-FFU-2×3
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HM-FFU-2×4
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HM-FFU-3×4
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HM-FFU-3×4
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HM-FFU-4×4
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外型尺寸(mm)(WXDXH)
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575×575×320
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575×875×320
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575×1175×320
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875×875×320
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875×1175×320
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1175×1175×320
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面風速
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0.45±20%
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噪音dB(A)(風速0.45m/s,
距出風面0.5m)
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48
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48
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48
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48
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52
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52
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HEPA過濾效率
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≥99.99%@0.3um
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HEPA規格
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570×870×90
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570×870×90
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570×870×90
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570×870×90
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870×1170×90
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870×1170×90
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電源
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AC單相,220V/50Hz
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功耗(W)(風速0.45m/s)
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120
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125
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140
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180
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240
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280
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機外余壓(Pa)
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50~130
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振動
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≤4um
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箱體材質
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鍍鋁鋅板/不銹鋼/鋁板/冷板
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注:本公司產品不斷改進,其中一些性能參數可能會進行修改,恕不另行通知