| 臭氧在溫室大棚內的殺菌效果與臭氧發生器自身的機型、臭氧濃度、室內溫濕度、光照、肥水管理、作物品種等諸多因素有關，故臭氧發生器的使用方法可根據蔬菜種類、生長期、病蟲害種類與嚴重度以及氣候的特點，進行適當調整。 通過XM系列溫室臭氧發生器使用表明，濕度的提高及溫度的降低可增強臭氧的消毒作用，在高濕度下微生物細胞膜變薄，易被臭氧破壞，可發揮更好的防治效果。應用臭氧的環境濕度應在60％以上，低于45％時臭氧對空氣中的微生物幾乎沒有殺菌作用，濕度越高殺菌效果越好。
日本媒體報道，臭氧能有效防治暖棚中番茄、香瓜、黃瓜的惡霉病，并能去除茄子、蘑菇頭、盆花等的霉雜菌及蚜蟲，還能促進植株生長。臭氧水浸泡種子，可進行種子消毒。
使用臭氧時應避免操作人員長時間與臭氧接觸，短時間接觸臭氧不會對人體造成傷害。工作環境臭氧濃度低于0.1mg／kg時是安全的，但低于0.1mg／kg時對微生物沒有殺滅作用。
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