HALO 水分測定儀為用戶提供了無以倫比的準(zhǔn)確性、可靠性、響應(yīng)速度，而且易于操作。HALO 水分測定儀采用了

TigerOptics 專利一個非常全面和經(jīng)濟的分析儀設(shè)計 ~（CRDS）光腔振蕩衰減光譜微量氣體定量分析。這個多功能分析儀，
只需一臺設(shè)備,允許用戶測量惰性氣體，腐蝕性和有毒氣體中的水分。用戶無需間接周期傳感器的維護程序，無需量程校
正，無需凈化器更換和無需泵重建。HALO-H2O-RP 不同于HALO-H2O，它集成了一個上游壓力控制器，允許在應(yīng)用程
序中，樣品壓力范圍從50 托 - 15psig 的操作。這些應(yīng)用程包括半導(dǎo)體晶圓處理、廢氣排出氣體監(jiān)測。

運作范圍：0-20 ppm 測量下限：2 ppb 外形尺寸（高x 寬x 深）：8.75″ x 8.5″ x 22.5″
靈敏度: 1 ppb 重量: 15 千克（33 磅）
精度(取大值)：讀數(shù)的±4%或±1ppb
響應(yīng)速度: 95%的響應(yīng) 少于3 分鐘
環(huán)境溫度：+10°C ~ +40°C
存儲溫度：-10°C ~ +50°C

所用材料: 316L 不銹鋼（可選哈氏合金） 壓力：50 torr -15 psig
接液部件: 10 Ra 流量：可達1,000 sccm
氣體的連接：1/4” VCR 入氣口及出氣口 氣體樣本: 氨、砷化氫、膦、或惰性氣體
泄漏測試：< 2×10-8 mbar?l/min 氣體溫度：低于60°C
警報指示燈: 用戶設(shè)置 認(rèn)證 : CE: LVD & EMC
電源電壓: 90-240 VAC, 50/60 Hz 測量原理：（CRDS）光腔振蕩衰減光譜
消耗功率：40W 以下 特許: 美國專利＃5528040, 其他專利申請中
輸出信號：記錄: 0-5 VDC / 4-20mA 隔離
通信: RS-232（可選無線）
用戶界面：5.6“LCD 觸摸屏, 10BaseT Ethernet,RS-232/422