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工業純水設備是用于工業生產用水水的純水制取裝置。工業用純水機可以用于：飲用水、瓶裝水、食品工業用水、半導體工業、精細化工、光學工業用水、電鍍用水、醫藥用水、透析醫療用水、代替各類蒸餾水及超純水供水等。
活性炭單元
活性炭的比表面積很大，且布滿了孔徑極小（10～30埃）的微孔，對有機物膠體、余氯、鐵離子等有明顯的吸附濾除作用。臺式純水機、凈水器等常用10寸/20寸活性炭濾芯。大型純水機組常用玻璃鋼/不銹鋼材質的活性炭濾罐。
軟水器單元
大中型純水系統常使用全自動軟水器以除去原水中的鈣鎂離子。全自動軟水器由鈉離子樹脂罐、再生鹽箱及多路控制閥組成，能夠設定程序控制運行，自動再生（時間型/流量型兩種控制方式），再生時利用虹吸原理吸鹽，再注水化鹽，再生時間通常為2小時。
小型臺式純水機一般使用10寸/20寸軟水樹脂濾芯來降低原水硬度。
反滲透單元
RO（Reverse Osmosis）反滲透技術是利用壓力表差為動力的膜分離過濾技術，源于美國二十世紀六十年代宇航科技的研究，后逐漸轉化為民用，已廣泛運用于科研、醫藥、食品、飲料、海水淡化等領域。
RO反滲透膜孔徑小至納米級（1納米=10-9米），在一定的壓力下，H2O分子可以通過RO膜，而源水中的無機鹽、重金屬離子、有機物、膠體、細菌、病毒等雜質無法通過RO膜，從而使可以透過的純水和無法透過的濃縮水嚴格區分開來。
RO膜對高價離子、膠體、細菌及分子量大于300 dalton的有機物質（包括熱源）去除率高達99%以上，對低價離子（NA+、K+）去除率達95%，當源水電導率<3505&micro;s/cm，RO純水電導率通常≤55&micro;s/cm，符合國家三級用水標準。再經過原子級離子交換柱循環過濾，出水率可達18.2MΩ.cm。
反滲透法是可達到90%～99%雜質去除率最經濟的方法，同時也是試劑級超純水系統最好的前處理方法。
備注：RO膜的過濾能力受水溫影響較大，最適合的水溫為25℃～30℃，溫度下降1℃，RO膜的產水量約下降3%，當水溫接近0℃時，RO膜將停止產水。
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